Setra西特227超高纯压力传感器 ▲
表压、复合压、绝压可选
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PSI或BAR量程可选
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11/8"下法兰安装
Setra 的227型传感器专用于当今的300mm工具所要求的高密度、模块式block 与其它具有较大死端空泡体积的设计不同，227型具有一个方便洗涤的小排量
传感器舱。所有湿润部件均为优质VAR316LSS材料，电解抛光至5Ra（10
max.）的终饰。 Setra 获専利的可变电容传感器的特点在于一个316L不锈钢膜片和一个绝缘电Ji
板。在传感器主体和电Ji板之间形成一个可变电容器。压力的增加致使膜片略微
变圆，从而增加了电容。 ●模块式1-1/8"气体棒和面板
●高纯气体传输系统
●半导体工艺工具
好处
■出色的稳定性，可避免停机
■抗EMI/RFI功能防止假停机
■符合CE标准
UltraHighPurity(超高纯应用压力传感器 外形图
2.71
68.83
传感器范围及零点调节
0.26
66
0.81
20.57
1.13
28.70
Ø1.05
Ø26.67
1.23
31.24
15针D型
3.66
92.96
小排量传感器舱
