气体类型:其他 |
监测气体数:多种气体 |
检测原理 :NDIR |
检测气体 :SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
量程 :1~264ppm(0~200mTorr) |
重复性 :±0.5% |
检测原理 :NDIR |
检测气体 :SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
量程 :1~264ppm(0~200mTorr) |
重复性 :±0.5% |
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