MEMS 电容式技术 电容式加速度传感器的关键组件是优质微电子机械系统(MEMS)，具有良好的长期稳定性 和可靠性。这种经过验证的技术能够用于测量静态(DC)和恒定以及动态(AC)加速度。 基于电容工作原理的加速度传感器的其他优点还包括优异的温度稳定性、良好的响应性能和 可实现的分辨率。 描述 ASC EQ 系列和 ASC QF 系列的地震传感器具有超低噪声水平，可实现小 于 1 μg 的分辨率。因此，它们满足地震测量运动 B 类的要求。集成电 子电路有助于确保差分模拟电压输出(±2.7 V FSO)和灵活的电源电 压(5-40 VDC)，同时还提供了内置自测选配和温度输出。 应用 ASC EQ 系列加速度传感器适用于监测建筑物关键安全组件。特别是结 构受到构造运动影响的发电厂或隧道。因为此类应用的基本要求是具 备能够可靠探测到最小振动振幅的地震传感器。 ASC QF 系列扁平化紧凑的设计有助于快速安装，这是在许多应用中进 行基准测量的基本要求。由于具有优异的抗振动和冲击性能，该系列 传感器也适用于 MWD(随钻测量)系统等钻井工具。

美国西特SETRA 141A/141B线性加速度计，可以用在地震实验试中，世界蕞大的地震模拟实验室，中国同济大学，中国地震研究所就大量使用这一款产品。Model141线性加速度计，当感受到加速度（静态～3000Hz）时，它输出与之成比例的瞬间的高输出直流信号。美国西特SETRA 线性加速度计141