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迷思科技 TUB100A01 压力传感芯片

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简介


迷思科技发布了一种压阻式绝对压力传感器芯片,大小仅为0.4mm × 0.4mm,是目前全球最小尺寸、最低成本的绝压传感器芯片!相关研究人员利用体硅下薄膜TUB技术(thin-film under bulk-silicon technique)提升灵敏度、减小挠度、改善线性度,同时压力传感器芯片采用一种新型的无疤痕微创手术(MIS)制造而成,并且该工艺与标准IC代工厂的工艺兼容,因此可有效降低成本。因此采用这种高良率工艺每片6英寸晶圆可生产90000颗芯片,从而实现极低的芯片制造成本。

迷思科技该工艺的绝压传感器100-1500kpa全系列可定制,欢迎垂询!



特点


尺寸极小:400μm×400μm

全桥输出、无需外接电阻

精度高、稳定性好

低噪声、低功耗

典型压力范围:30~110 kPa

过载压力:300 kPa

灵敏度:0.6-0.7 mV/kPa/3.3V

非线性:0.1%




TUB100A01 压力传感芯片技术参数

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性 能
工作压力量程 30-110 kPa
过载压力 300 kPa
非线性度 0.1 ±% Full Scale
特 性
压力类型 绝压
测量技术 压阻式;MEMS
更多技术信息
产品类别 敏感芯片

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