产品介绍
简介
迷思科技发布了一种压阻式绝对压力传感器芯片,大小仅为0.4mm × 0.4mm,是目前全球最小尺寸、最低成本的绝压传感器芯片!相关研究人员利用体硅下薄膜TUB技术(thin-film under bulk-silicon technique)提升灵敏度、减小挠度、改善线性度,同时压力传感器芯片采用一种新型的无疤痕微创手术(MIS)制造而成,并且该工艺与标准IC代工厂的工艺兼容,因此可有效降低成本。因此采用这种高良率工艺每片6英寸晶圆可生产90000颗芯片,从而实现极低的芯片制造成本。
迷思科技该工艺的绝压传感器100-1500kpa全系列可定制,欢迎垂询!
特点
尺寸极小:400μm×400μm
全桥输出、无需外接电阻
精度高、稳定性好
低噪声、低功耗
典型压力范围:30~110 kPa
过载压力:300 kPa
灵敏度:0.6-0.7 mV/kPa/3.3V
非线性:0.1%
TUB100A01 压力传感芯片技术参数
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规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
性 能 | ||
工作压力量程 | 30-110 kPa | |
过载压力 | 300 kPa | |
非线性度 | 0.1 ±% Full Scale | |
特 性 | ||
压力类型 | 绝压 | |
测量技术 | 压阻式;MEMS | |
更多技术信息 | ||
产品类别 | 敏感芯片 |
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