产品介绍
简介
上海迷思科技有限公司（简称：迷思科技）近日发布了一款自主开发的1kPa至10kPa量程微差压MEMS传感器芯片产品。该芯片尺寸仅为0.9mm × 0.9mm，远小于目前市面上微同类进口芯片常见的2mm × 2mm大尺寸。其核心竞争力来自迷思科技开发的一种TUB（Thin-film Under Bulk-silicon）自主创新整套MEMS制造工艺，可将压力敏感膜片的厚度精确控制在1.5μm至2μm，并且有很高的成品率，突破了以往“键合-减薄”工艺的限制，从而能以很小芯片面积实现超高的压力灵敏度。
迷思科技此次公开的微差压MEMS传感器芯片在5V供电条件下，10kPa满量程输出达到了110mV，在实现高灵敏的同时，非线性亦控制在了±0.15% FS，可满足高精度测量应用。在1kPa量程下，该芯片亦有11.5mV满量程输出，非线性低至±0.06% FS。得益于极低的微伏噪声水平，该传感器实现了超高分辨率。同时，该传感器具有承受100kPa过载的高可靠性。
迷思科技微差压芯片支持1-50kpa量程可定制， 欢迎垂询！
特点
芯片尺寸：900μm × 900μm
非线性：10Kpa 满量程输出 110 mV ±0.15% FS
1 Kpa 满量程输出 11.5mV ±0.06% FS
最大过载：100Kpa
TUB010D01 压力传感芯片技术参数
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| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 性 能 | ||
| 工作压力量程 | 1-10 kPa | |
| 过载压力 | 100 kPa | |
| 非线性度 | 0.15 ±% Full Scale | |
| 特 性 | ||
| 压力类型 | 差压 / Differential | |
| 测量技术 | MEMS;压阻式 | |
| 更多技术信息 | ||
| 产品类别 | Element / Chip / 敏感芯片 |
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