SMC的PFM系列是双流量开关，设计用于检测微芯片组件在真空中的吸附、过滤器和喷嘴的堵塞。结构紧凑、重量轻，适合与二氧化碳、空气、氮气或氩气一起使用。流速范围：10、25、50100 l\/min。最小单位设置：0.01 l\/min。重复性：±1%F.S.或更低。无油脂。流量调节阀是集成的-减少管道和节省空间。可设置响应时间最大流量=0.2-10 L\/min控制输出=PNP安装样式=紧凑型供电电压=24 V dc显示屏=3位7段LED管道直径范围=4 mm最小工作温度=0°C最大工作温度=+50°CCAD绘图=三维CAD模型