PVC1000系列MEMS Pirani真空传感器提供了突破性的真空测量解决方案，在实现超低功耗、长寿命、最小现场维护和低成本的同时，增强了小型化。，基于气体的热导率与低真空范围内的压力成比例的原理，Posifa传感器测量由于热传递到周围气体而引起的对加热元件电阻的微小变化。，加热元件由一个铂薄膜电阻器组成，该电阻器位于隔热膜上。膜悬浮在一个深度为25µm的微加工腔上，其底面与膜平行，确保了传热的精确测量。由于被测气体的体积很小（即腔体内的体积），Posifa传感器具有超低的功耗和快速的响应时间。，PVC1000还提供了一个与测量电阻具有相同热电阻系数（TCR）的参考电阻器，位于传感器基板上。它可以被传感器电路用于环境温度补偿。，特性，应用

特性

• 超低功耗小于5MW
• 快速响应时间小于5毫秒
• 范围为10-3 - 30 torr
• 抗1000克的冲击性能
• 适用于气体体积低至0.1 cm-3
• 对安装方向不敏感
• 低噪声
• 高分辨率
• 芯片上的温度传感
• 长期稳定
• 可浸泡在溶剂中清洗，延长使用寿命
• 分析仪器
• 在一次真空下保持的任何封闭系统中进行泄漏检测
• 半导体设备
• 真空包装机
• 便携式真空计
• 小型机械系统(如泵送)以达到指定的真空水平
• 低成本真空开关，验证真空低于1 torr
• 低噪音
• 在保持主真空状态下的任何封闭系统中的泄漏检测