Brooks Instrument 9861系列高温热质量流量控制器和仪表专为可冷凝前体和杂质的高温输送而设计，具有高纯度、高泄漏完整性的金属流道，确保与所有工艺气体和蒸汽兼容。获得专利的IsoSensor™是一种高稳定性流量传感器，与加热气体管道和烘烤系统中的高温环境兼容。IsoSensor™的超低漂移性能减少了在高温应用中经常重新调零和重新校准的需要。