特性

• 整体式压力传感器
• 响应时间:<1秒
• 流量测量范围广，全尺寸流量范围从0-3 sccm到0–30000 sccm
• 最大压力500 psig
• All-metal seal flow path: 32µ inch Ra maximum surface finish
• 共面阀提供更低的泄漏率
• 多气体/多量程能力允许存储和预编程多达10气体校准和量程在一个单一的设备
• DeviceNet® and analog communication options
• 更大的共面阀控制范围降低了对过程中压力变化的敏感性，确保了一个更稳定的过程
• 全金属润湿流道，以保持无颗粒、水分和污染的工艺条件
• 该装置也可配置为质量流量控制器，用于校准或测试目的
• 多气体/多量程功能可减少库存
• 由共面阀提供的更大的控制范围减少了控制过程所需的零件数量
• 紧凑，节省空间的足迹是很容易追溯
• 数字通信提供了简单的调试和减少系统布线
• Wide flow measurement range with full-scale flow rates from 0 - 3 sccm to 0 – 30,000 sccm
• 多气体/多量程功能允许在单个设备上存储和预编程多达10个气体校准和量程

布鲁克斯型号SLA7840是一种高纯度金属密封仪器，在测量流量的同时控制压力。远程压力传感器信号，连同可调积分PID控制电子元件和共面控制阀，保持所需的设定压力。与其他金属密封控制器相比，共面阀降低了对压力变化的敏感性，并提供了更低的泄漏率，从而确保了一个更稳定的过程