First Sensor拥有一个高度创新的技术平台，用于制造用于地球工程、状态监测或导航应用的高精度惯性传感器。MEMS传感器允许灵活定制，以满足您的个性化应用需求。，电容式测斜仪和加速度计基于单晶硅传感器元件，并利用最先进的微加工技术，以实现大信噪比和卓越的温度稳定性。因此，它们能够探测到极微小的倾斜或加速度变化。由于高宽高比微结构（harm），传感器具有超低的交叉轴灵敏度。此外，获得专利的高柔性AIM（气隙绝缘微结构）技术最大限度地减少了寄生电容。