产品介绍
离子注入是制造半导体的关键步骤。高能注入可以加热晶圆并导致导致产量降低的问题。在注入过程中监测晶圆的温度，以确定所需的晶圆冷却量。小直径、快速响应、弹簧加载的热电偶（如上图所示）是监测离子注入工具温度的一种经济可靠的方法。
Ion Implant Thermocouple for Axcelis Implanter 温度传感器技术参数
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| 产品类别 | Temperature Sensors |
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