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Conax 康纳斯 Ion Implant Thermocouple for Axcelis Implanter 温度传感器

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离子注入是制造半导体的关键步骤。高能注入可以加热晶圆并导致导致产量降低的问题。在注入过程中监测晶圆的温度,以确定所需的晶圆冷却量。小直径、快速响应、弹簧加载的热电偶(如上图所示)是监测离子注入工具温度的一种经济可靠的方法。

Ion Implant Thermocouple for Axcelis Implanter 温度传感器技术参数

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传感器类型 Temperature Probe
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产品类别 Temperature Sensors

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