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东方微电 钴基非晶丝GMI微磁传感器Co非晶合金丝 磁性材料

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   用于微磁传感器的非晶丝主要有两种,一种是水纺丝,另一种是玻璃包覆非晶丝。水纺丝的直径较大(125μm),需要进一步拉拔成细丝使用;玻璃包覆非晶丝的直径较小,通过一道工序就能够制备成 10-50μm 的细丝。随着器件的小型化,目前的微磁传感器多数采用玻璃包覆非晶丝。典型的玻璃包覆非晶丝的形貌如图 1 所示,芯部为非晶合金丝,外皮为玻璃。

图 1 玻璃包覆非晶丝的显微形貌

用于微磁传感器的钴基非晶丝的典型性能如表 1 所示,其中 Hk 为非晶丝的磁各向异性场,该数值对应于微磁传感器的量程,如 Hk 为 0.2 Oe,那么所制成的微磁传感器的量程约为±0.2 Oe。

表1 用于微磁传感器的钴基非晶丝的典型性能



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