思微科技 SRPS-QGA/BGA系列高精度硅谐振压力传感器 压力传感器

简介

SRPS-QGA/BGA系列高精度硅谐振压力传感器，是西安思微传感科技有限公司自主开发的—款高精度MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)压力传感器。硅谐振压力传感器是目前测量精度最高的压力传感器，因其具有精度高、稳定性好、准数字输出等优点，被广泛应用在航空大气数据测量系统、地面压力控制器和气象测量设备中。

传感器表芯中谐振结构采用音叉梁设计，其工作方式为面内振动，通过静电激励、电容检测的方式捕捉谐振频率，再结合闭环控制电路转化为频率信号输出。

SRPS-QGA/BGA系列高精度硅谐振压力传感器管壳为316L不锈钢材质，并采用激光焊接工艺，可与多种规格的压力接口和电气接口连接，用户可根据其具体应用需求进行选择。