产品介绍
描述
CAFS3000系列气体质量流量传感器是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作,适用于各种清洁、相对干燥性微小流量气体的测量和过程控制使用,特殊的封装技术使得相同口径下的产品可以满足不同范围的流量测量,同时确保高灵敏度,高可靠性,高稳定性和低成本。产品应用十分广泛。
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CAFS3000系列气体质量流量传感器是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片制作,适用于各种清洁、相对干燥性微小流量气体的测量和过程控制使用,特殊的封装技术使得相同口径下的产品可以满足不同范围的流量测量,同时确保高灵敏度,高可靠性,高稳定性和低成本。产品应用十分广泛。
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