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迷思科技 TUB010D01 压力传感芯片

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简介


上海迷思科技有限公司(简称:迷思科技)近日发布了一款自主开发的1kPa至10kPa量程微差压MEMS传感器芯片产品。该芯片尺寸仅为0.9mm × 0.9mm,远小于目前市面上微同类进口芯片常见的2mm × 2mm大尺寸。其核心竞争力来自迷思科技开发的一种TUB(Thin-film Under Bulk-silicon)自主创新整套MEMS制造工艺,可将压力敏感膜片的厚度精确控制在1.5μm至2μm,并且有很高的成品率,突破了以往“键合-减薄”工艺的限制,从而能以很小芯片面积实现超高的压力灵敏度。

迷思科技此次公开的微差压MEMS传感器芯片在5V供电条件下,10kPa满量程输出达到了110mV,在实现高灵敏的同时,非线性亦控制在了±0.15% FS,可满足高精度测量应用。在1kPa量程下,该芯片亦有11.5mV满量程输出,非线性低至±0.06% FS。得益于极低的微伏噪声水平,该传感器实现了超高分辨率。同时,该传感器具有承受100kPa过载的高可靠性。

迷思科技微差压芯片支持1-50kpa量程可定制, 欢迎垂询!



特点


芯片尺寸:900μm × 900μm

非线性:10Kpa 满量程输出 110 mV    ±0.15% FS

             1 Kpa 满量程输出  11.5mV    ±0.06% FS

最大过载:100Kpa



TUB010D01 压力传感芯片技术参数

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性 能
工作压力量程 1-10 kPa
过载压力 100 kPa
非线性度 0.15 ±% Full Scale
特 性
压力类型 差压 / Differential
测量技术 MEMS;压阻式
更多技术信息
产品类别 Element / Chip / 敏感芯片

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