产品介绍
MEMS微振镜是一种把可动结构芯片化的光学器件,可取代传统电机,实现激光光束的高速、动态扫描。 MEMS微振镜由单晶硅加工制成,具有可靠性高、体积小、重量轻,易批量化等特点。
知微传感拥有1D和2D MEMS振镜产品,同时还可根据用户需求提供定制化的产品和服务。
轴数:双轴
镜面直径:1mm
频率:快轴:13kHz;慢轴1.2kHz
光学扫描角度: 快轴:±15°;慢轴:±12°
镜面镀膜:金
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