Setra西特 760真空计 真空传感器

Setra西特760真空计

Setra Model 760 电容压力计是为的、可重复的真空测量而设计的压力传感器。满量程范围从 10Torr 到1000Torr。 测 量 单 位 可 以 是 Torr， mbar/hpa， kpa 或psia。 Model 760 的工作电压是 15VDC，输出 0~10VDC或0~5VDC，输出与压力成线性关系，而且与气体成分无关。电气连接件可以是工业标准 15 针 D 型插座或 6 位接线端子板。采用金属外壳、巨涌和 ESD 抑制元件以及输入输出的 RFI 过滤等技术， Model 760 具有出众的 EMI/RFI 性能Model 760 有一个完整的滑面，很*提供有的零点调节和量程调节的多匝电位计。 Inconel® 材质适用于全部湿原料所以可测量腐蚀性气体，另外可提供不同类型的压力和真空接头

应用 半导体过程工具和设备 实验室和研究开发，实验和测量，度量，分析化学系统
特性· **：标准 ±0.25% of Reading ，可选 ±0.15%· 小巧紧凑的结构· 多种压力连接和电气连接方式· 符合 CE 标准■ 出众的 EMI/RFI 性能■ 耐腐蚀的 Inconel ® 设计■ 出色的热稳定性
Model 760 中**的压力传感元件 VactronTM pressuresensor，是在 Setra 砖利技术可变电容传感技术基础上发展来的。在敏感元件*有一个馈入装置组件支持一个邻近膜片后表面的圆电。电和膜片在一个低压接近真空的空间内组成了一个可变电容。这一电容的变化被 Setra特的集成电路检测并被转换成**的线性直流信号，该集成电路是根据西特砖利技术负荷平衡原理设计的。Model 760 采用革新的传感设计获得了出色的零点稳定性和大气压非敏感性。 Model 760 传感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了与陶瓷式结构相似的电容式压力计。▲适用于与 Inconel® 或 Inconel/ 不锈钢相容的气体
▲压力范围： 0~10 Torr 至 0~1000Torr，
0~10 mbar/hpa 至 0~1000mbar/hpa
0~2 psia 至 0~20psia，
0~2 kpa 至 0~100kpa