Aonesoft 恩硕科技 FS338 传感器参数仪

产品简介

FS-MEMS 传感微结构参数测试仪

MEMS (Micro-Electro-Mechanical System, 微电子机械系统 ) 传感器是一种新型的传感器技术，是多学科领域交叉的前沿技术。

FS-MEMS 是一款集成传感器结构参数测试功能的系统，为 MEMS 传感器电学参数提供晶圆级解决方案，可满足不同客户的定制化需求。该系统内置数字 IO 模块，搭配智能探卡，无需更换线缆，通过一键操作即可完成动态和静态参数测试，全面覆盖电流电压（IV）、电容电压（CV）、漏电、电阻、谐振频率、Q 值、正交系数、-3dB 带宽等关键电学参数，实现自动测试。动态和静态参数是 MEMS 传感器性能的重要指标，在 MEMS 产品研发阶段可用于验证设计的可行性、预期性能、可靠性以及稳定性；在生产阶段可用于监控 MEMS 制造过程，验证器件的成品率，并促进产品质量改进；在量产阶段可用于最大化生产能力，降低生产成本。因此，FS-MEMS 可广泛应用于 MEMS 器件的研发、生产和量产测试。

FS-MEMS 包含多项功能模块，可测试角速度计（陀螺仪）、加速度计、压力传感器、光流量计、红外传感器等基于 MEMS 结构的微传感器。

FS-MEMS 硬件基于 PXI 架构，具有强大的系统扩展性，支持多通道并行测试，从而提高测试效率。系统内置专业测试软件，为客户提供友好的参数设置界面，操作简单，可轻松完成参数设置。

产品优势

设置便捷：无需换线，一键完成动静态参数

测试高效：支持多通道并行测试，提高测试效率

界面友好：友好的参数设置界面，操作简单，可轻松完成参数设置

软件功能

FS-MEMS 内置专业测试软件，提供友好的图形化界面
‒ 支持并行测试
‒ 支持主流半自动探针台设备的控制，通过晶圆映射实现自动测试功能

‒ 支持测试结果设置 BIN CODE 操作，生成测试 map 图
‒ 支持数据自动保存，用于测试结果追溯

产品应用

• MEMS 角速度计 ( 陀螺仪 )
• MEMS 加速度计
• MEMS 压力传感器
• 基于微镜阵列的 MOEMS 传感器
• 多轴复合式 MEMS 传感器

主要功能

支持数字 IO 控制，可配合带通道切换功能的智能探卡，完成无需换线

的动静态参数自动测试：

‒ 静态参数测试：包含电流电压 (IV) 测试，检测电阻，绝缘电阻

(<10Gohm)，零位电压和电容电压 (CV) 测试

‒ 动态参数测试：包含 -3dB 带宽、谐振频率、Q 值、时间常数、正交系数等

硬件规格

IV 测试：

‒ ±200V/1A，100fA 电流测试精度

‒ 0.1mV 电压测试精度

电容测试：

‒ 频率范围 20Hz~2MHz

‒ 直流偏压范围 ±40V

‒ 交流偏压范围 5mV~15V

‒ 测试精度 0.3% (1pF~10pF, typical)

动态参数测试：

‒ 带宽测量范围：≤500kHz

‒ 电容式陀螺敏感结构 Q 值测量范围可达 30 万

‒ 驱动信号带宽 20MHz，16 bits 分辨率

‒ 驱动信号支持正弦波、方波、矩形波、白噪声和任意波形

‒ 采集模块 100MS/s 采样率，14 bits 分辨率，支持电压范围 ±10V

直流电源供电：3 通道，6V/1A，±20V/1A
数字 IO 控制：32/64/96 通道