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双桥传感器 CYG512 微型,薄型动态压力传感器

薄型脉动气压传感器

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描述


CYG512型薄形压力传感器是专为空气动力学研究中,风洞中超薄形模型上下表面压力场分布设计的,是CYG511的改进型。尤其适用于缩模径向尺寸较大,厚度很小,不能或不容易挖坑贴埋,只能贴于表面的工况设计的。1mm左右的厚度使其对流场的影响减小到很小的程度。


CYG512使用了CYG511同样的先进的硅硅直接键合的压力敏芯片,具有很优良的静态力学特性。由于精密设计与加工的封装结构在将总厚度缩小到1mm左右的同时,也就大大减小了敏感元件与传感器进压壳体封装空间的容积,将浅型管腔对动态频响的影响减至最小,因此它具有优良的动态特性。


CYG512标准压力量程为100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000ka。


CYG512的有两种外形尺寸,一种为薄扣形,ф8 mm直径,总厚度为1.2 mm;一种为薄条片形,6×10×1mm引出线均为4mm宽,0.15mm厚,1m长柔性引线。薄扣形为不锈钢结构,上表面超薄不锈钢薄膜上有激光钻刻的均布式和螺旋线形进气筛孔。薄条式无顶盖,仅在贴装敏感元件处复盖很薄的有机硅保护膜,用户可接自己的实用工况需求进行选择。



性能指标参数


1、精度等级

指标/档级非线性精度
±%FS
迟滞重复性
%FS
零位温度系数
×10-4FS /℃
灵敏度温度系数
×10-4FS /℃
零位时漂
<mv/8h
JA0.50.1550.2
JB0.20.1220.1

2、满量程输出:  最小值30mv  典型值80mv    最大值130mv

3、输入输出阻抗:最小值3 kΩ  典型值5 kΩ     最大值7 kΩ

4、输入工作电流:1.5 mA(表压型)  1mA(绝压型)(恒流源)

5、工作温度范围:-55℃~+120℃

6、补偿温度范围:-10℃~+80℃

7、过载能力:    额定量程的200%

8、加速度灵敏度:<0.001%FS/g



外形尺寸图



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