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双桥传感器 CYG507 微型,薄型动态压力传感器

双桥传感器 CYG507 齐平封装微型高频动压传感器

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描述


标称尺寸外径8mm的微型微压传感器是专为空气动力学研究流场分布设计的,它特别适用于模型尺寸较厚或模型中空的实验工况。传统的用毛细管引出压力用扫描阀巡测的方式,因毛细管频响的损失而测得的为稳态流场分布。现场直接布置微型传感器的方法可获得精确的动态流场分布。


CYG507的压力敏感元件采用先进的MEMS技术设计与制造。采用CAD技术的力敏结构与版图设计优化了力学模型、双岛膜结构(低微压)和梁膜岛复合结构(超微压)使得压力敏感元件实现了低量程、高灵敏度和优良线性度的统一兼得,应力互补设计和无应力微封装技术实现了量程下的良好稳定性。


CYG507为表差压型,有探针型和螺纹安装式两种外形。探针型产品量程2.5kpa以上的外径为6mm,2.5kpa以下的量程的外径为8mm,长度均为18mm,螺纹型的螺纹为M10×1。外形见附图。


CYG507采用敏感元件反面承压,因此它有优良的介质兼容性。CYG507采用准齐平无管腔的封装设计,因此有优良的动态特性,可用频率即使是最低量程500pa的品种可达1000Hz以上。


CYG507的可选量程为0.5、1、1.6、2.5、4、10、16、25kpa。



性能指标参数


1、精度等级

指标/档级非线性精度
±%FS
迟滞重复性
%FS
零位温度系数
×10-4FS /℃
灵敏度温度系数
×10-4FS /℃
零位时漂
<mv/8h
JA0.50.2550.3
JB0.20.2330.2


2、满量程输出:  最小值20mv   典型值60mv   最大值100mv

3、输入输出阻抗:最小值2 kΩ  典型值5 kΩ  最大值8kΩ

4、输入工作电流:2mA或1.5mA

5、工作温度范围:-40℃~+105℃

6、补偿温度范围:-10℃~+60℃

7、过载能力:    额定量程的300%



外形尺寸图



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