Kionix / ROHM Semiconductor KXRB5-2042 地震仪器

这些高性能硅微机械线性加速度计和倾角计由一个传感器元件和一个封装在3x5x0.9mm陆地网格阵列（LGA）中的ASIC组成。传感器元件由单晶硅制成，采用专有的深反应离子刻蚀（DRIE）工艺，并通过晶圆级的密封硅盖保护其免受环境影响。KXRB5系列的设计提供高信噪比和优良的超温性能。这些传感器可以接受2.5V到5.25V之间的电源电压。灵敏度是工厂可编程的，允许定制1.5g到6.0g范围的应用。传感器带宽可由用户定义。A\/D转换器和多路复用器的辅助输入将外部A/D转换器的需要降至最低。传感器元件根据差动电容原理工作。加速度引起硅结构的位移，从而引起电容的变化。ASIC使用标准CMOS制造工艺，检测电容变化并将其转换为与加速度成比例的模拟输出电压。