Kionix / ROHM Semiconductor KXPS5-2050 地震仪器

这些高性能硅微机械线性加速度计和倾角计由传感器元件和封装在A3xxx0.9mm陆地网格阵列（LGA）中的ASIC组成。传感器元件由单晶硅制成，采用专有的深反应离子刻蚀（DRIE）工艺，通过晶圆级的热密封硅盖保护元件不受环境影响。\tKXPS5系列设计用于提供高信噪比和优异的超温性能。这些传感器可以接受1.8V到5.25V之间的电源电压。灵敏度是工厂可编程的，允许定制需要从±1.5g到±6.0格兰仕的应用。传感器带宽可由用户定义。对于高于阈值的任何轴上的加速度（运动中断）或低于阈值的所有三个轴上的加速度（自由下落中断），都可以产生中断。\t传感器元件根据差动电容的原理工作。加速度引起硅结构的位移，导致改变失效。ASIC使用标准CMOS制造工艺，检测电容的变化并将其转换为与加速度成比例的模拟输出电压。该电压由板载A/D转换器数字化，并通过内部集成电路（I2C）总线或串行外围接口（SPI）进行访问。