产品介绍
FS5000系列质量流量传感器是为通用流量监测和控制应用而设计的。传感器直接测量设计通道中的质量流量，并具有跟踪流量检测功能。它能检测到的最低流量为20 nL\/min。这些传感器可以很容易地应用于歧管流量组件、泄漏检测、HVAC控制、洁净室空气流量或氮气冲洗监测和控制、环境设备（如空气采样器）、分析仪器（如GC光谱仪）等。可以配置nFS5001传感器进行测量流量满量程从1到1000 sccm（1 SLPM）。有了全系列可定制的适配器，它可以在许多应用程序中即插即用。
FS5001 质量流量计和控制器技术参数
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| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 性 能 | ||
| 精度 | 1.5 ±% | |
| 特 性 | ||
| 介质类型 | Gas | |
| 连 接 & 显 示 | ||
| 接口选项 | Serial / Digital | |
| 环 境 | ||
| 工作温度 | -4 to 158 F (-20 to 70 C) | |
| 物 理 | ||
| 安装 | In-line | |
| 更多技术信息 | ||
| 仪表形式 | Mass Flow Meter | |
| 更多规格 | ||
| 产品类别 | Mass Flow Meters and Controllers |
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