产品介绍
特性
- 压力不敏感性能 一个新的高性能压力不敏感功能提供了一个简化的供气系统
- 多量程、多气、多压解决方案 新的功能允许用户改变气体类型、全尺寸流量和供应压力范围
- g-life（积分限流器方程气体定律检查）自诊断功能 高级过程健康监控功能允许操作员进行自己的测试，通常在3秒钟或更短的时间内进行，以提高吞吐量
- 高精度 采用先进的三维调节技术，提高了工艺气体的流量精度
- 快速反应 响应：<0.8秒 可以实现精确、稳定的流量控制
- 动态范围 宽控制范围:0.2% f.s.到100% f.s.。
- g寿命(综合流量限制器方程的气体规律检查)自诊断函数 高级流程运行状况监视功能允许操作人员执行自己的测试，通常在三秒钟或更少的时间内完成，从而提高吞吐量
这种领先的压力不敏感质量流模块安装有压差检测和压电执行器阀。，标准D500提供的高水平性能确保其可用于一系列先进的半导体制造工艺；压力不敏感，多量程\/多气体\/多压力，G-LIFE（集成限流器方程气体定律检查）自诊断功能，高精度，快速响应，宽范围，全金属。，在这里查看我们的MFC比较图。，技术文章，基于压力的质量流量控制模块标准D507系列（1.7MB），摘要\最近随着半导体应用的增加设备据物联网介绍，最新的半导体工厂正致力于尽量减少设备的停机时间。因此，为了对半导体工具及其元件进行失效预检测，半导体工艺的管理参数不断增加，对其要求也越来越严格。为了满足要求的控制标准，要求质量流量控制模块具有高速通信和故障预检测功能，同时还要求具有流量精度和再现性、入口压力不敏感等性能。D507系列是在D500系列上排列的，以满足最近半导体厂严格的管理要求
CRITERION D500 质量流量计和控制器技术参数
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| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 特 性 | ||
| 工作压力 | 109 psi (76.56 m H2O) | |
| 介质类型 | Gas | |
| 连 接 & 显 示 | ||
| 接口选项 | Serial / Digital;Network / Fieldbus | |
| 环 境 | ||
| 工作温度 | 59 to 113 F (15 to 45 C) | |
| 物 理 | ||
| 终端配件 | Compression | |
| 管道直径 | 0.25 inch (6.35 mm) | |
| 安装 | In-line | |
| 更多技术信息 | ||
| 仪表形式 | Mass Flow Meter | |
| 更多规格 | ||
| 产品类别 | Mass Flow Meters and Controllers |
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