产品介绍
Conax提供OEM三点校准热电偶和特殊变化的完整选择，已根据个别工厂的需求定制。该三点式传感器用于应用材料\/Moore Technologies 76XX、77XX和78XX系列外延管反应器。该三点式传感器可用于校准3个红外(IR)传感器，这些红外传感器用于在晶圆加工过程中监测感应器的温度。由于传感器有3个测量接点，所有3个红外传感器可以同时校准。这节省了时间，增加了单结传感器的重复性，因为三重点不需要重新定位校准每个红外传感器。所有部件都带有双温度校准，通常为1100摄氏度和1200摄氏度或客户要求的温度。除非客户另有设计，否则三点式传感器使用c型热电偶线和铬镍铁合金护套材料。检查包括x光检查，以确定三点传感器的内部部件的状况。
Triple-Point Calibration TC for Barrel Reactors 温度探头技术参数
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| 规格项 | 参数值 | 勾选搜索替代 |
| 物 理 | ||
| 探头配置 | Straight Probe | |
| 更多技术信息 | ||
| 所用基础元件 | Thermocouple | |
| 更多规格 | ||
| 产品类别 | Temperature Probes | |
| 传感器终端类型 | Plug or Quick Connect | |
| 护套材料 | Inconel | |
| Probe Features | Available as an Assembly |
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