引言

1、悬浮式微热板设计

• 1.1 微热板的工作原理

• 1.2 微热板结构设计

• 1.3 微加热器形状设计

2、微热板性能分析

• 2.1 微热板热场分析

• 2.2 微热板应力分析

• 2.3 微热板功耗分析

• 2.4 微热板的综合性能分析

3、螺旋形微热板参数优化

• 3.1 电极电压优化

• 3.2 支撑层厚度优化

• 3.3 电极线宽间距比优化

4、结论