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浅谈微型压力传感器在工业和医疗领域的应用

2022-06-30 #生物医疗

用微机械加工技术制造的典型产品是硅微型压力传感器,对此美国日本和欧洲均已形成产业。硅微型压力传感器近几年来发展很快,这类压力传感器主要应用于汽车工业和医疗保健领域。


                 霍尼韦尔公司的微型压力传感器

硅微型压力传感器的特点是体积小,重量轻,没有活动部件,可靠性高,又能大规模生产该传感器,所以造价低。高可靠性,低成本对于汽车工业的要求可以说是非常适合的,因此在汽车工业中迅速扩展了它的应用领域。如自动刹车系统的压车面压力,轮胎压力,气囊压力,传动系统流体压力,注入系统流体压力,注入燃料压力,发动机机油压力。进气管道压力都有硅微型压力传感器额用武之地。   

有的外国公司甚至采用微机械加工技术开发了一种能直接埋入轮胎的压力传感器。它能在汽车轮胎压力很低或轮胎在跑气时向司机报警。全世界汽车每年的生产量高达几千万辆,因此这是一个极有前途的市场。   

微型压力传感器在医疗保健领域里的最大应用产品是血压监视器。据称一些大的医疗机械制造上每年要使用近500万只压力传感器。此外,妇女难产时,监控子宫压力用的硅微型压力传感器,静脉注射监控药液流动的传感器等,都有着广泛的市场需求。其他许多医疗保健方面的应用也正在不断开发中。   

微型压力传感器基本上分成两类:电容式和压阻式。电容式压力传感器包括一个薄膜,它作为可变空气电容器的一个极板,当薄膜上承受压力时,薄膜产生位移,从而改变电容值,利用这种变化经过相应的电路处理,就可得到压力值。电压阻式微型压力传感器使用硅材料承受压力时会产生电阻变化的原理制成,一般将4个硅材料的应变电阻构成惠斯通电桥来测量压力。


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微纳科技*骆艳筝*

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这个领域比较有名气的是Honeywell、Amphenol、TE Connectivities、Sensirion 等一直占据着高端板载压力传感器的主要市场份额,台湾产品如 Metrodyne 、APM 等占据了胎压计、血压计、真空泵等民用市场的主要份额,国产板载压力传感器如无锡芯感智、深圳良品、山东森世等一大批国产板载压力传感器厂商正在快速追赶,还有更多国产厂商正在摩拳擦掌有待进入该市场,借供应链缺芯片和卡脖子风险的机遇,市场许多大客户都对国产产品打开了大门,这是国产板载压力传感器百年难得的机遇,一场国产替代进口的大戏即将在板载压力传感器市场拉开大幕。

评论发表于2022-07-17
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华翰科技@罕志贤

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MEMS其实就是一种工艺技术,并不神秘,本质上就象是泥瓦匠砌砖墙,只不过把尺寸缩小到微纳米级别,泥瓦匠变成了各种半导体设备。关键在于砌砖墙的加工过程,需要对各种过程参数进行精确控制,而这就难倒不少人了。

评论发表于2022-07-06
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