聊聊金属溅射薄膜压力传感器的那些事儿
压力传感器多种多样，今天我们一起来看看金属溅射薄膜压力传感器，聊聊溅射膜压力的特点、优缺点和应用市场，欢迎有相关经验的朋友分享自己的经验、看法和观点。
溅射膜压力传感器，是采用离子束溅射和刻蚀技术，在不锈钢弹性膜片上制作薄膜电阻构成惠斯通电桥，流体压力作用在不锈钢弹性膜片上，使之产生形变，引起电阻值变化，电桥输出与压力成比例的电信号，通过一系列的信号处理和误差修正，转换为标准的电信号输出，从而实现对压力的测量。
溅射膜压力传感器制作中的一些关键技术包括：弹性膜片的材料及加工、溅射薄膜制备技术、光刻和激光调阻技术、产品稳定性技术（包括弹性体应力、薄膜内应力、产品装配应力提前加速去除、薄膜晶格及结构缺陷稳定性处理等），这些都是制溅射膜压力传感器大批量低成本生产的瓶颈。
溅射膜压力传感器主要的优点是受温度的影响较小，温度性能远优于扩散硅式压力传感器，例如，温度变化100摄氏度时，其零点温漂仅为千分之五水平，这一特性特别适合对高温高湿的恶劣应用场合。
因为制造工艺要求高，目前常见的溅射膜压力传感器应用，较多的出现在航空航天、国防军工，石油化工、工程机械液压传动等环境恶劣的应用场景，市场呈现出造价高、用量小、品质要求高的特点，亟需企业在制造工艺上努力攻关，降低生产制作成本，在尽量少牺牲性能指标的情况下实现对产品的大批量生产。
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这个行业看着美丽，其实不然啊，有机会一定和大家分享酸甜苦辣 。
湖南启泰有国内第一条规模化的金属溅射薄膜压力传感器生产线
国内有人做金属溅射薄膜压力传感器吗 ？
这个领域很多厂商在工艺摸索上交了不少学费
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午芯是一家专注于MEMS芯片研发、设计、生产、销售于一体的科技创新型企业，其生产的MEMS电容式压力芯片是由哈工大、沈理工的多位博导、教授带领的科研团队，进行成果转化，已获得授权10项芯片架构专利，拥有完全自主知识产权，达到《军用电子元器件可控评估》A级标准。 传感器灵敏度：±0.5Pa(或±0.05m）（标准模式下即可达到） 相对精度：±0.06hPa(或±0.5m) 绝对精度：±1hPa（或±8m） 工作压力：300～1200hPa 工作温度：-40～85°C 温度精度：±0.5°C 压力温度敏感度：0.5Pa/K 测量时间：典型值：标准模式为 27.6ms（16 倍），最小值：3.6ms 为低精度模式 平均电流消耗量：大气压力工作电流为 2µA；1.5uA 1Hz 采样率的温度测量；休眠电流 0.5µA 电源电压：VDDIO：2.0～5.5V 校准：使用测量校正的系数进行单独校正，产品出厂已校准 接口：I 2C 和 SPI（均具有可选的中断） 包装尺寸：8 引脚 LGA，2.0mm x 2.5mm x 1.0mm 更多内容请询17833833579苏
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