请教专家们一个问题，二氧化碳传感器，MEMS技术的成熟度如何？

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中国传感器产业

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压力传感器

午芯是一家专注于MEMS芯片研发、设计、生产、销售于一体的科技创新型企业，其生产的MEMS电容式压力芯片是由哈工大、沈理工的多位博导、教授带领的科研团队，进行成果转化，已获得授权10项芯片架构专利，拥有完全自主知识产权，达到《军用电子元器件可控评估》A级标准。 传感器灵敏度：±0.5Pa(或±0.05m）（标准模式下即可达到） 相对精度：±0.06hPa(或±0.5m) 绝对精度：±1hPa（或±8m） 工作压力：300～1200hPa 工作温度：-40～85°C 温度精度：±0.5°C 压力温度敏感度：0.5Pa/K 测量时间：典型值：标准模式为 27.6ms（16 倍），最小值：3.6ms 为低精度模式 平均电流消耗量：大气压力工作电流为 2µA；1.5uA 1Hz 采样率的温度测量；休眠电流 0.5µA 电源电压：VDDIO：2.0～5.5V 校准：使用测量校正的系数进行单独校正，产品出厂已校准 接口：I 2C 和 SPI（均具有可选的中断） 包装尺寸：8 引脚 LGA，2.0mm x 2.5mm x 1.0mm 更多内容请询17833833579苏

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