【话题:MEMS气压传感器的前世今生】 作为板载压力传感器MEMS化的典型代表,以检测一个大气压量程为主的绝压型气压传感器开始走进我们的生活,成为几乎大部分MEMS厂商继加速度传感器后的标配产品,这只传感器也是离我们所有人生活最近的一只压力传感器,每一部手机、大部分可穿戴设备中都有它的身影。今天就让我们从技术应用和市场方面来聊聊这颗绝压传感器的前世今生和江湖。欢迎朋友们踊跃参与讨论。
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比如潜水表/水深仪,量程5Bar可以用于水下5-10米测深度,专业潜水仪表一般需要量程25Bar,做到至少水下100米测深度。
超过一个大气压,MEMS 气压传感器可以用于洗衣机水位、咖啡机饮料机水位检测、电子烟流量控制、空调滤网堵塞预警、环保仪器设备、医疗设备等众多应用场合。
现在消费电子,1个大气压的压力传感器是Bosch Sensotec 和英飞凌的天下,歌尔是后起之秀,Intersema 没有陨落,在TE旗下重焕生机,VTI是过去式。
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气压传感器应用在手表、手机、智能硬件、汽车电子....., 主要是测量气压变化、测量相对海拔高度,用在GNSS 卫星导航上,可以通过用气压传感器测得的海拔高度与GNSS模块输出的海拔高度信号对比,过滤出坏信号点,修正卫星定位数据,实现精准高程导航,如多层立交桥导航,人员定位楼层识别等,应用非常广泛。气压传感器与温湿度传感器结合,通过传感器的数据融合算法,可以进行天气预测,对农业、渔业、家居生活环境舒适度、天气预报开发出很多新颖时尚的应用来。
目前主流的MEMS 气压传感器,是MEMS电容式,两层硅片构成电容的正负极,电容C=e*(A/d)气压变化,e是常数,A是电容面积保持不变,气压的变化改变正负极间的距离d, 从而导致pF级的电容变化,用ASIC对微小的电容变化进行放大和处理,得到气压变化,按照一定的算法编写软件,可以监测相对海拔高度、推测天气变化。
三星也是第一家在手机上大比例配置地磁传感器的大厂,虽然当时 对于地磁的作用,大部分手机厂商都认为是鸡肋,而且,当时地磁的成本还是挺高的。
国内MEMS厂商在后期进入,在各细分领域寻觅商机,形成中小批量出货,培育实力,等待良机。
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