山东伟航敏芯电子科技有限公司 座落于淄博国家高新技术产业开发区MEMS产业园,是利用航天独特的技术,获得航天专利实施的基础上,成立的成立的一家以力学测量为发展方向,集生产、研发、销售为一体的高科技企业。
公司依托中国航天传感器技术,充分发挥品牌优势,严格按照军工产品科研生产管理的要求,建立完善的科研生产管理体系,并取得ISO9001质量管理体系认证。通过核心技术服务,实现敏感元器件、溅射薄膜压力传感器的产销研一体化。
公司主要以溅射金属基高精纳米膜芯体及相关传感器产品的生产及研发为主。产品广泛应用于矿山装备、工程装备、注塑机、航空航天、石油、天然气、船舶等行业。
先进的溅射金属基高精纳米膜芯体生产线
公司拥有百级洁净车间,生产的溅射金属基高精纳米膜芯体可广泛用于压力传感器和变送器。公司产线配备PECVD、离子束镀膜、离子束刻蚀、紫外光刻机、激光调阻、电学性能测试等研发,生产设备,具备年产100万只 0-200MPa 芯体的能力。公司已取得ISO9001质量管理体系认证,产品经过严格的过程控制和检测实验,芯体精度等级可达0.05%F·S-0.1%F·S,整体水平居国内前列。
溅射金属基高精纳米膜芯体采用MEMS加工工艺,尺寸小,纳米薄膜应变电阻直接制作在金属弹性体上,在增大量程范围的同时,实现了敏感元件和弹性体的原子结合,最大限度的降低了传感器的蠕变、迟滞和老化,提高了产品在高温、高压、灰尘、潮湿等恶劣环境下的长期稳定性和可靠性。