沈阳仪表科学研究院有限公司(原名沈阳仪表科学研究院)是始建于1961年5月5日的国家级科研院所,1999年7月1日转制为企业,是我国首批转制的242家国家级科研院所之一,隶属于中国机械工业集团有限公司。从2003年开始,先后重组了杭州照相机械研究所、秦皇岛视听机械研究所和沈阳真空技术研究所。2013年1月25日,更名为沈阳仪表科学研究院有限公司,现隶属于中国机械工业集团有限公司,被中国机械工业集团公司确定为“核心业务企业”。 设有1个国家级工程中心,即传感器国家工程研究中心;3个国家级质检中心,分别为国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、国家照相机质量监督检验中心和国家真空设备质量监督检验中心;1个部级质检中心,即机械工业电影机械与电化教育设备产品质量监督检测中心;4个标准化技术委员会,分别为机械工业仪器仪表元器件标准化技术委员会、全国照相机械标准化技术委员会、机械工业电影和电教机械标准化技术委员会、全国真空技术标准化技术委员会。中国仪器仪表学会仪表元件分会、仪表工艺分会,中国仪器仪表行业协会传感器分会均挂靠在本院。拥有辽宁省企业技术中心、国家博士后工作站。
本院经过50多年的发展,共完成科研项目1765项,获得国家、部、省、市等各项奖励382项,其中国家级发明奖和国家科技进步奖11项,省部级科技进步奖106项。获得授权专利290项,其中发明专利52项;主持和参与国家和行业标准367项,其中国家标准77项;发表论文300多篇,其中收录论文10篇。
研究院专注于高端仪器仪表和智能装备两大技术领域。重点研究仪表核心器件传感器和敏感芯片,已经形成芯片、传感器、弹性元件、光学元件、智能仪器仪表、光机电一体化产品、仪表成套系统等一条完整的仪器仪表产业链;同时开发高压水系统清洗设备及其自动化清洗系统及仪器、传感器工艺装备和真空装备等智能装备及相关技术;建成了国内颇具实力的硅基传感器产业化基地、高压组合电器补偿器及其配套产品产业化基地和光学干涉滤光片产业化基地。研究院专有技术主要有:光学薄膜膜系设计技术、成膜工艺及辅助镀膜技术、膜层控厚技术、精密旋压变薄技术、薄壁焊接工艺技术、各类金属波纹管成形技术及工艺装备的设计制造技术、波纹管设计技术、强化传热技术、防腐技术和在线检测技术、高性能传感器设计技术、稳定性工艺技术、封装技术、可靠性技术、测试技术等;高压水射流清洗及系统成套技术、PIG清管成套技术、半导体专用设备设计制造技术、非标专用设备及系统成套设备的设计制造技术;MEMS技术、温度补偿技术、测试技术、特种封装技术;智能化仪表设计技术、通讯技术、自动化控制技术、现场总线技术、磁敏器件制造工艺技术、磁性薄膜制造工艺技术、磁敏器件应用技术;各种幻灯变焦镜头、扫描仪镜头、CCD镜头、投影仪镜头及各种球面、非球面塑料镜头技术;电影摄影机、电影摄影辅助器材、各种放映摄影镜头和光、机、电一体化电子技术等。研究院已通过了ISO9001质量体系认证。建立了全国性营销网络,部分产品已远销国外。研究院研制生产多项产品已成功应用于载人航天及探月工程等国家重大工程。研究院是辽宁省“守合同重信用”单位、沈阳市火炬型科研院所;先后获得三级保密资格证书等证书;荣获中国机械工业集团公司先进单位等荣誉称号;获得沈阳市“五一奖状”;其“汇博”系列产品成为沈阳市名牌产品,“汇博”成为中国驰名商标。
MEMS产线(中试线)-4英寸
沈阳仪表科学研究院传感器国家工厂研究中心是我国唯一的国家级传感器工程研究中心,在中国传感器研发、生产、应用等方面有着举足轻重的地位。是我国传感器标准起草牵头单位、传感器行业协会理事长单位。
研究中心建有4英寸中试线,主要用于MEMS传感器研发生产使用。