公司简介
司逖测量技术(上海)有限公司【Siti Metrology (Shanghai) Co., Ltd】于2016年在中国上海成立,为全球各行企业提供高性能的光谱共焦位移传感器。为应对公司在中国市场快速增长的需求,我们配备一支敬业实干的技术型售后服务团队,在华东的 上海浦东新区及华南的东莞长安分别设有办公室,以便更好地为中国客户提供优质的售前售后服务!
公司基于创新的技术开发了两个系列的产品:从0.1μm到100mm测量行程的点光谱共焦传感器、从1.8mm到45mm线长的不同测量行程的线光谱共焦传感器。 这些高分辨率的非接触式传感器广泛运用于各种不同要求的高精密测量场合。从物体表面细微结构、形状及纹理粗糙度的测量分析,到工业环境下的在线质量检测、过程控制与逆向工程,及实验室研究场合的高精度设备,我们的光谱共焦传感器都成了众多客户不可或缺的选择。
我们为全球各行业(可应用行业范围:玻璃、医疗、电子、半导体、汽车、航空航天、制表业…等)企业提供高性能的光谱共焦位移传感器。任何材料的物体,如金属、玻璃、陶瓷、半导体、塑料、织物等,我们的光谱共焦传感器都可轻松测量,而且对被测物体表面的颜色和光洁度也没有任何特殊要求,无论什么颜色,物体表面是漫反射或者高光面,乃至于镜面都可以轻松测量。
什么是光谱共焦?
光学传感器提供最好的技术以满足非接触尺寸测量最苛刻的要求。基于使用空间彩色编码的创新光学原理,我们的传感器使用户能够以非凡的精确度对任何类型的材料进行测量。
用于工业环境中的设计,STIL传感器的各系列,吸引集成器与测量检测机器轻松连接,这归功于为每台仪器提供的动态链接库(DLL)。
光学原理
我们的光学传感器基于高度创新的共焦彩色成像原理。入射的白光针孔通过彩色物镜成像为沿Z轴的连续单色图像,从而沿光轴提供“颜色编码”
反向散射的光束通过过滤针孔进入光谱仪,该光谱仪确定波长已完全聚焦于物体上,然后精确地确定其在测量场的位置。
共聚焦光谱成像技术以极高的分辨率提供可靠、精确和可再现的尺寸测量。
什么是光谱共焦干涉仪?
非接触式轮廓测量技术中的测量精度,通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。
为不再受此类环境干扰,开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统,干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。
光谱共焦干涉测量原理
干涉测量法基于白光干涉图(SAWLI)的光谱分析。
它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号,以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的独创性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起,机械振动不会影响测量结果。
此外,该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。最小可测厚度为0.4μm。
主要产品
测量设备-闪测仪
测量更准确采用双倍率双侧远心光学镜头,具有较高的远心度,即使有段差情况下也能高精度正确的测量。倍率涵盖0.16X大视野/0.7X高精度。
一键测量闪测仪是一种新型的影像测量技术,它和传统的二次元影像测量仪不同的是它不再需要光栅尺位移传感器作为精度标,也不要经过大焦距的镜头经过放大产品影像来保障测量精度。
多年来精密测量业里流行着这么一句话:影像测量仪是传统投影仪的替代产品,影像测量仪将取代传统投影仪。如今我们将再一次打破传统,闪测仪将取代影像测量仪和传统投影仪。
光谱共焦位移传感器
■ 外形尺寸测量 ■ 空气夹层测量■ 厚度(透明物体)测量■ 段差高度 (非透明物体)测量■ 外形轮廓测量
■ 表面型貌测量■ 表面粗糙度测量■ 表面微小划痕测量■ 三维测量■ 平面度测量
面白光干涉传感器
白光干涉测量用于非接触式快速测量,精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸,其测量精度可以达到纳米级!目前,在3D测量领域,白光干涉仪是精度高的测量仪器之一。
线激光位移传感器
高精度高性价的线激光位移传感器操作简单易懂 出厂时已作标定,用户开箱即用。重新定义3D视觉,让3D相机的使用和2D相机一样简单明了,方便快捷。算法系统强大 一体式3D智能激光传感器,依托自主研发的强大算法,不仅可以实现多路数据拼接,更具备与3D算法平台对接,实现入工智能技术的三维处理。
非接触式晶圆厚度测量系统
非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度很好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。
非接触式晶圆粗糙度测量系统
•阶梯式测量,还原接触测量真实结果; •直线电机高精度龙门运动机构; •兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量;•气浮龙门平台确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性; •兼可达大360mm陶瓷盘(5-7pcs样品); •晶圆的测量厚度范围为5um-1mm; •抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架; •含视觉自动定位系统; 可自定义生成快速便捷的自动化测量模式;•直观简单的2D或3D数据呈现方式;•样品盘顶出机构,兼容机器人上下料动作 。
解决方案
微电子行业
微电子技术是随着集成电路,尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。
微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术,微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。
微电子技术是当代发展很快的技术之一,是电子信息产业的基础和心脏。微电子技术的发展,推动了航天航空技术、遥测传感技术、通讯技术、计算机技术、网络技术及家用电器产业的迅猛发展。微电子制造中,需要大量的金线、在密封方面也需要胶。
司逖光谱共焦传感器在金线检测、胶路检测方面可以为广大客户提供完美的解决方案,呈现清晰的数据和图像。
例如:
红外线传感器黄金接触垫 OP020(20um测量景深)
集成电路自动光学检测 Xtra View
微电子的焊线槽型貌 OP350(350um测量景深)
(WAVY 测头)印刷线路板的翘曲测量MPLS180
金线的检测
玻璃行业
自吹起显示器非平面即曲面的想法,市面上2D、2.5D产品相继出现,经iPhone创办人Steve Jobs构思3D曲面玻璃发展蓝图后,开启了发展趋势,相继有厂商投入3D产品各种成型技术的研发。
因符合市场大量产品的设计需求,智能手机、智能手表、平板计算机、仪表板等陆续出现,时代进步已经明确引导3D曲面玻璃发展方向。那么3D曲面玻璃有什么优势特点使其能深受广大用户喜爱呢?
与2D、2.5D玻璃相比,3D曲面玻璃的优点:
轻薄、透明洁净、抗指纹、抗眩光、耐候性佳。
颜值高,曲面玻璃的弧面边缘高于中框,整个屏幕都显得更加饱满,视觉效果明显优于普通2d屏幕。
出色的触控手感,曲面玻璃与中框180度平滑对接,更符合人体工程学原理,大幅度提高了滑动屏幕的手感。
额外的性能增益,无线充电机能,并能解决天线布置空间不足及增强收讯功能,使产品更美观出色。
光谱共焦技术在3D曲面玻璃检测方面的运用
因符合3C产品设计需求,3D曲面玻璃的特色蓄势待发,将迎来更大的市场需求。在3D曲面玻璃的生产过程中,在提高品质、降低成本、提高良率方面提出了更高的要求,光谱共焦技术顺势而为,为3D曲面玻璃的检测提供了一双明亮的眼睛!司逖光谱共焦传感器在玻璃上的胶路检测、玻璃瑕疵、玻璃形貌检测等方面为您保驾护航,提供质量保障!
例如:
玻璃外形轮廓测量 CCS Prima + CL3-MG140
手机屏幕与金属外框的间隙检测 MPLS180+MicroView
3D玻璃内表面弧度的测量
大角度轮廓测量
玻璃表面瑕疵检测 CL3-MG70 + STIL DUO
玻璃表面微小划伤检测 MC2
精密制造行业
精密制造产品,内部一般由很多细小复杂的零件组成。以代表性的手表来举例,其制造流程和工艺虽比不上汽车、飞机工业的复杂程度,但其内部超过100多个细小复杂的零件组装在表盘内,稍微出现组装疏忽将会导致手表不能正常运,产品品质不能经得起考验。
手表质量的好坏和工件工艺及组装能力有很大的关系。组装好一款手表的工艺过程非常复杂,需要经过三个专业技术将机芯,表盘,内部精密齿轮完美无瑕地组装一起,才能发挥出最长的使用是寿命。机械手表的制造工艺复杂程度可见一斑。
在工件制作、使用和组装的过程中,光谱共焦传感器可以检测细小复杂的微部件。光谱共焦技术,基于专有的创新光学原理,从概念设计的第一步到最终校准,一切都在内部完成,除了分包的镜片,机械零件和电子板制造。
例如:
手表边框测量 MPLS-180 DeepView
手表玻璃厚度测量 CL5-MG35
抛光机械部件的缺陷 MC2+DeepView
半导体行业
中美贸易事件的发酵,反面折射出了半导体等零部件技术的薄弱,一时引起了社会尤其中国科技界的深思。已成为全球第二大经济体的中国,提高关键技术创新能力,关乎经济高质量发展和国家民族未来。想摆脱“卡脖子”的残酷命运,中国高端技术的发展还需要更多自主创新。
材料强国是科技强国的基础,第三代半导体材料扮演着愈发关键的角色,也正日益成为国际、国内科技和产业竞争的领域之一。
我国精密加工技术和配套能力进步迅速,已经具备开发并且逐步主导第三代半导体装备的能力。全国多地积极响应,促进地方产业转型升级。
该微电子产业发展政策,针对第三代半导体企业购买IP、参与研发多项目晶圆等做出了详细的扶持说明。深圳正实施新一轮创新发展战略布局,机器人、无人驾驶、等新兴产业日新月异,坪山区将依托5G试点,建设第三代半导体产业集聚区。
司逖在半导体精密测量领域的运用案例:
BGA半导体封装OP1000(1mm景深)
LED晶圆自动光学检测XtaView
LED芯片三维测量CL1+MG140
光伏晶圆表面型貌CL1+MG140
涂层检测行业
测量涂层厚度时与部件无任何接触。激光和红外传感器可分析2至50厘米距离的涂层。这意味着可以在工业涂层环境中测量部件,即使它们位于移动产线上、在高温环境中,甚至易碎或潮湿环境中。
由于激光束产生的热量极少,因此测量过程中涂层和部件都不会被损坏或改变。 因此,对于那些迄今已有的方法会破坏测试样品的工业运用,它也可以系统地测量每个部件。
测量通常不到一秒钟,具有高度重复性。这样可以控制高达100%的涂层部件,严格遵循涂层工艺性能并实时反应以保持佳状。
汽车行业
汽车是现代工业自动化的产物。汽车行业高速发展,汽车各个部件的生产制造过程中,涉及到各种各样的测量、识别、分选和检查,例如微小工件尺寸的精确测量,工件装配的段差和间隙的测量,产品包装上的条码和字符识别等。它们可能具有以下一些特点:高速大批量检测、检测精度要求高、被测对象尺寸微小等。
在上述的这些情况下,利用人工无法连续稳定的进行检测;另外,每个人的判断标准不统一也导致检测结果的不一致。这时,人们开始考虑把利用相机镜头来代替人类视觉并结合图像处理技术来实现检测,于是形成了一门新学科----机器视觉。光谱共焦传感器运用高分辨率线性相机(亚微米探测)和高扫描速度,满足了汽车制造过程对精度和速度的要求。
例如:
汽车金属部件表面粗糙度测量
使用过的轮胎表面测量OP300VM(300mm景深)
随着汽车行业的竞争加剧,各厂家对产品的品质要求会更高。汽车四大生产工艺冲压/焊装/涂装/总装的生产线上大量的视觉装置已经逐步应用起来。以前人们对视觉传感器有一种恐惧心理,认为其操作复杂,设定繁琐;其实现在厂商使用的都是菜单化操作,并将频繁使用的操作转化为控制器上的特定按钮,单触发就可以完成菜单的转换。
司逖光谱共焦传感器不仅仅在质量监控方面起着举足轻重的地位,在设备的预防保全方面同样也有用武之地。例如在涂装/总装使用的输送链,经常因为链条的疲劳老化断裂而产生断链的故障,并且修复时间长严重影响生产。如果能对链条的拉伸变化量进行测量,就可以在疲劳断裂前进行更换,从而减少停机时间,降低成本,司逖光谱共焦传感器的位移监测正可以做到这一点!同时传感器的高速计测可以在输送链运行时作检测,根据存储的数据,维修人员作出保养维护计划。
医疗行业
随着社会发展,越来越多行业对微观物体表面形貌观测的要求也越来越高,与生命健康有着紧密关系的医学行业就是其中之一。但由于普通显微镜的固有特性,只有聚焦区域内的图像成像清晰,非聚焦区域内侧图像成像模糊。
因此普通显微镜无法实现在同一景深中对物体表面形貌的全聚焦,更不能重构其三维结构。 但是,利用光谱共焦技术,可以实现显微物体三维形貌的重构。看如下司逖光谱共焦传感器在医学领域的应用:
髋关节件的球形面测量(内凹面)OP300VM(300mm景深)
人类皮肤测量 OP350(350um景深)
人类头发测量 OP020(20um景深)
人类牙齿测量MPLS180
眼部植入剂C2+MG140
太阳能行业
太阳能路灯节能环保,无污染、无危害,所以它越来越受欢迎,走入我们的视线,慢慢占据了市场。现如今太阳能路灯的电池层出不穷,除了常规的铅酸电池和胶体电池以外,锂电池更是轻易得到了人们的认可。锂电池无污染、寿命长、温度适应能力强、更智能、更安全的优点得到了人们的青睐。司逖光谱共焦技术在锂电池检测上的应用:
锂电池电极粗糙度测量
航空航天行业
航空航天行业是一个以现代科学为基础的高新技术产业,是国民经济和国防建设的重要组成部分,我国一直以来都大力发展航空航天行业,且已经成为一个航天实力雄厚的强国。
航空航天属于高精尖技术领域,技术对安全性要求极高,因此航空航天部件的制造生产中对产品工艺和质量的要求是极为苛刻的。这是司逖光谱共焦传感器在飞机多层玻璃厚度检测方面的运用:
飞机玻璃多层厚度测量 CL3-MG70+STIL DUO