日本 明电舍(Meidensha)是日本五大重型电器制造厂家之一,创立于1897年,公司总部设立在日本东京,注册资金170.7亿日元(约合11亿人民币),在东京证券交易所一部市场上市,从事能源、环保、信息、通信、产业系统、汽车测功机设备等的制造和销售。
MEIVAC真空电容器系列,是基于明电舍的真空技术而开发的一种真空电容器。
真空电容器有以下用途:
1.作为半导体薄膜制造设备的阻抗整合器
2.通信器材的发报线路,同调回路
3.诱电加热设备的共振回路
4.各种高频率电源的电压增幅回路
近年来,由于半导体产业的发展,真空电容器的用途扩大至CVD,蚀刻,滴溅设备等半导体薄膜制造设备阻抗整合应用领域。