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Siargo 矽翔微机电
矽翔微机电系统有限公司(矽翔公司,Siargo Ltd. )2003年成立于美国加州硅谷。矽翔公司设计和生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程MEMS气体流量计,核心部件MEMS流量芯片及其专利封装技术由公司自主研发,可用于各类气体流量计量和测控。近年来公司发明了热飞行时间微流测控技术、场压力传感技术和MEMS涡街流量技术,为传统的流体计量带来了根本性变革,提供了全新的拓展空间。 矽翔公司基于MEMS 技术的流量芯片广泛应用于多种医疗设备( 如:呼吸机、麻醉机、个人呼吸机、内窥镜、伽马医疗设备、哮喘监测、药物输送、肺功能仪等),医院中心供氧、制氧设备、分床计费系统,工业制造业用气测量及过程控制,环保行业大气监测及分析、食品饮料加工,科学气体分析仪器 ,半导体设备, 楼宇自控,民用健身与保健设备 ,家电生产工艺控制 ,汽车生产工艺控制,农林渔业养殖等领域;在全新的燃料电池等尖端科技领域亦有应用。 目前,产品已销售到美国、欧洲、加拿大、日本、韩国、南美、大洋洲、东南亚、东南亚、中东等多个国家和地区。矽翔公司参与起草以下国家及地方标准:《中华人民共和国国家标准:封闭管道中流体流量的测量-热式质量流量计》GB/T 20727-2006;《中华人民共和国国家计量检定规程:热式气体质量流量计》 JJG 1132-2017;《中华人民共和国电子行业标准:气体质量流量控制器通用技术条件》SJ∕T 10583-2016;《四川省地方计量检定规程:热式质量燃气表》 JJG(川)152-2018。矽翔公司通过的认证体系有:ISO9001: 2015,  ISO13485: 2016,ISO14001:2015和ISO45001:2018;所有产品均符合RoHS标准要求,大部分产品还符合REACH标准要求。矽翔公司注重技术创新,拥有核心自主知识产权,拥有美国专利30余项,中国发明专利、实用新型及外观专利10余项,计算机软件著作权20余项。矽翔公司设有音速喷嘴气体流量实验室、无尘净化生产车间、MEMS芯片固晶及邦定实验室、环保焊接车间、高低温实验室、电磁干扰实验室等,有标准表法气体流量校准生产线30余条,有全自动固晶机、全自动邦定机、全自动点胶机、高低温交变试验箱等多台先进设备。每年生产各类流量传感器50万只以上,各类气体流量计、流量控制器5万台以上。主要产品气体质量流量传感器     气体质量流量计     气体质量流量控制器     微液体流量计     微压差传感器
  • Siargo Ltd. MF5008 质量流量计和控制器

    安装:In-line
    终端配件:In-line Threaded
    接口选项:Serial / Digital
    工作温度:-4 to 149 F (-20 to 65 C)
    管道直径:0.31 inch (8 mm)
    介质类型:Gas
    工作压力:435 psi (306 m H2O)
    仪表形式:Mass Flow Meter
    精度:1.5 ±%
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    显示:Digital
  • Siargo Ltd. MF5012 质量流量计和控制器

    管道直径:0.47 inch (12 mm)
    介质类型:Gas
    工作压力:435 psi (306 m H2O)
    仪表形式:Mass Flow Meter
    工作温度:-4 to 149 F (-20 to 65 C)
    安装:In-line
    终端配件:In-line Threaded
    精度:1.5 ±%
    接口选项:Serial / Digital
    显示:Digital
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
  • Siargo Ltd. MF5019 质量流量计和控制器

    终端配件:In-line Threaded
    工作压力:435 psi (306 m H2O)
    仪表形式:Mass Flow Meter
    精度:1.5 ±%
    接口选项:Serial / Digital
    安装:In-line
    工作温度:-4 to 149 F (-20 to 65 C)
    管道直径:0.75 inch (19 mm)
    介质类型:Gas
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    显示:Digital
  • Siargo Ltd. MF6012 质量流量计和控制器

    终端配件:In-line Threaded
    介质类型:Gas
    工作压力:145 psi (102 m H2O)
    仪表形式:Mass Flow Meter
    特征:Built-in Alarm Indicator; Controller; Programmable
    安装:In-line
    接口选项:Serial / Digital
    工作温度:14 to 131 F (-10 to 55 C)
    管道直径:0.47 inch (12 mm)
    精度:1.5 ±%
    电气输出:Analog Current
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    显示:Digital
    前面板接口:Digital Front Panel
  • Siargo Ltd. MF6019 质量流量计和控制器

    管道直径:0.75 inch (19 mm)
    工作压力:145 psi (102 m H2O)
    特征:Built-in Alarm Indicator; Controller; Programmable
    精度:1.5 ±%
    接口选项:Serial / Digital
    工作温度:14 to 131 F (-10 to 55 C)
    安装:In-line
    介质类型:Gas
    仪表形式:Mass Flow Meter
    电气输出:Analog Current
    终端配件:In-line Threaded
    显示:Digital
    前面板接口:Digital Front Panel
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    测量技术:MEMS Flow Sensor
  • Siargo Ltd. MF-Series Insertion Mass Flow Meter 质量流量计和控制器

    安装:Insertion Type
    介质类型:Gas
    电气输出:Analog Current; Frequency; Voltage
    工作温度:-4 to 140 F (-20 to 60 C)
    接口选项:Serial / Digital
    管道直径:3.94 to 62.99 inch (100 to 1600 mm)
    终端配件:In-line Threaded
    工作压力:363 psi (255 m H2O)
    仪表形式:Mass Flow Meter
    显示:Digital
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    测量技术:MEMS Flow Sensor
  • Siargo Ltd. MF-100 质量流量计和控制器

    接口选项:Serial / Digital
    精度:1.5 ±%
    电气输出:Frequency
    安装:In-line
    仪表形式:Mass Flow Meter
    特征:Recorder / Totalizer Functions
    工作温度:-4 to 149 F (-20 to 65 C)
    终端配件:In-line Flanged
    介质类型:Gas
    工作压力:363 psi (255 m H2O)
    管道直径:3.94 inch (100 mm)
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    显示:Digital
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
  • Siargo Ltd. MF-150 质量流量计和控制器

    管道直径:5.91 inch (150 mm)
    仪表形式:Mass Flow Meter
    精度:1.5 ±%
    电气输出:Frequency
    安装:In-line
    介质类型:Gas
    工作压力:363 psi (255 m H2O)
    特征:Recorder / Totalizer Functions
    终端配件:In-line Flanged
    接口选项:Serial / Digital
    工作温度:-4 to 149 F (-20 to 65 C)
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    显示:Digital
  • Siargo Ltd. MF-25 质量流量计和控制器

    安装:In-line
    电气输出:Frequency
    接口选项:Serial / Digital
    特征:Recorder / Totalizer Functions
    管道直径:0.98 inch (25 mm)
    精度:1.5 ±%
    工作温度:-4 to 149 F (-20 to 65 C)
    工作压力:363 psi (255 m H2O)
    仪表形式:Mass Flow Meter
    终端配件:In-line Flanged
    介质类型:Gas
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    显示:Digital
  • Siargo Ltd. MF-32 质量流量计和控制器

    管道直径:1.26 inch (32 mm)
    工作温度:-4 to 149 F (-20 to 65 C)
    安装:In-line
    介质类型:Gas
    工作压力:363 psi (255 m H2O)
    仪表形式:Mass Flow Meter
    精度:1.5 ±%
    电气输出:Frequency
    接口选项:Serial / Digital
    终端配件:In-line Flanged
    特征:Recorder / Totalizer Functions
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    显示:Digital
  • Siargo Ltd. MF-40GD 质量流量计和控制器

    安装:In-line
    终端配件:In-line Flanged
    精度:1.5 ±%
    管道直径:1.57 inch (40 mm)
    介质类型:Gas
    仪表形式:Mass Flow Meter
    特征:Recorder / Totalizer Functions
    工作温度:-4 to 149 F (-20 to 65 C)
    电气输出:Frequency
    接口选项:Serial / Digital
    工作压力:363 psi (255 m H2O)
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    显示:Digital
  • Siargo Ltd. MF-50 质量流量计和控制器

    安装:In-line
    终端配件:In-line Flanged
    仪表形式:Mass Flow Meter
    精度:1.5 ±%
    电气输出:Frequency
    工作温度:-4 to 149 F (-20 to 65 C)
    特征:Recorder / Totalizer Functions
    管道直径:1.97 inch (50 mm)
    介质类型:Gas
    工作压力:363 psi (255 m H2O)
    接口选项:Serial / Digital
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    显示:Digital
  • Siargo Ltd. MF-50GD 质量流量计和控制器

    管道直径:1.97 inch (50 mm)
    终端配件:In-line Flanged
    接口选项:Serial / Digital
    特征:Recorder / Totalizer Functions
    工作温度:-4 to 149 F (-20 to 65 C)
    仪表形式:Mass Flow Meter
    安装:In-line
    介质类型:Gas
    工作压力:363 psi (255 m H2O)
    精度:1.5 ±%
    电气输出:Frequency
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    显示:Digital
  • Siargo Ltd. MF-65 质量流量计和控制器

    管道直径:2.56 inch (65 mm)
    仪表形式:Mass Flow Meter
    安装:In-line
    特征:Recorder / Totalizer Functions
    工作温度:-4 to 149 F (-20 to 65 C)
    工作压力:363 psi (255 m H2O)
    接口选项:Serial / Digital
    终端配件:In-line Flanged
    介质类型:Gas
    精度:1.5 ±%
    电气输出:Frequency
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    显示:Digital
    测量技术:MEMS Flow Sensor
  • Siargo Ltd. MF-80 质量流量计和控制器

    特征:Recorder / Totalizer Functions
    介质类型:Gas
    仪表形式:Mass Flow Meter
    接口选项:Serial / Digital
    电气输出:Frequency
    工作温度:-4 to 149 F (-20 to 65 C)
    管道直径:3.15 inch (80 mm)
    终端配件:In-line Flanged
    工作压力:363 psi (255 m H2O)
    安装:In-line
    精度:1.5 ±%
    显示:Digital
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    测量技术:MEMS Flow Sensor
  • Siargo Ltd. MFGX4015 质量流量计和控制器

    管道直径:0.59 inch (15 mm)
    仪表形式:Mass Flow Meter
    精度:1.5 ±%
    接口选项:Serial / Digital
    工作温度:14 to 131 F (-10 to 55 C)
    安装:In-line
    终端配件:In-line Threaded
    介质类型:Gas
    工作压力:43.51 psi (30.62 m H2O)
    电气输出:Analog Voltage
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    显示:Digital
    测量技术:MEMS Flow Sensor
  • Siargo Ltd. MFGX4022 质量流量计和控制器

    介质类型:Gas
    工作压力:43.51 psi (30.62 m H2O)
    电气输出:Analog Voltage
    接口选项:Serial / Digital
    管道直径:0.75 inch (19 mm)
    安装:In-line
    终端配件:In-line Threaded
    仪表形式:Mass Flow Meter
    精度:1.5 ±%
    工作温度:14 to 131 F (-10 to 55 C)
    显示:Digital
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
  • Siargo Ltd. MF100FD 质量流量计和控制器

    终端配件:In-line Flanged
    仪表形式:Mass Flow Meter
    精度:1.5 ±%
    特征:Recorder / Totalizer Functions
    安装:In-line
    电气输出:Frequency
    接口选项:Serial / Digital
    管道直径:3.94 inch (100 mm)
    介质类型:Gas
    工作压力:232 psi (163 m H2O)
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    显示:Digital
  • Siargo Ltd. MF150FD 质量流量计和控制器

    管道直径:5.91 inch (150 mm)
    介质类型:Gas
    工作压力:232 psi (163 m H2O)
    电气输出:Frequency
    特征:Recorder / Totalizer Functions
    精度:1.5 ±%
    接口选项:Serial / Digital
    安装:In-line
    终端配件:In-line Flanged
    仪表形式:Mass Flow Meter
    显示:Digital
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    测量技术:MEMS Flow Sensor
  • Siargo Ltd. MF25FD-1 质量流量计和控制器

    安装:In-line
    终端配件:In-line Flanged
    电气输出:Frequency
    特征:Recorder / Totalizer Functions
    管道直径:0.98 inch (25 mm)
    介质类型:Gas
    工作压力:232 psi (163 m H2O)
    仪表形式:Mass Flow Meter
    精度:1.5 ±%
    接口选项:Serial / Digital
    显示:Digital
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
  • Siargo Ltd. MF25FD-2 质量流量计和控制器

    终端配件:In-line Flanged
    介质类型:Gas
    工作压力:232 psi (163 m H2O)
    特征:Recorder / Totalizer Functions
    管道直径:0.98 inch (25 mm)
    安装:In-line
    仪表形式:Mass Flow Meter
    精度:1.5 ±%
    电气输出:Frequency
    接口选项:Serial / Digital
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    显示:Digital
  • Siargo Ltd. MF32FD 质量流量计和控制器

    管道直径:1.26 inch (32 mm)
    工作压力:232 psi (163 m H2O)
    仪表形式:Mass Flow Meter
    精度:1.5 ±%
    电气输出:Frequency
    接口选项:Serial / Digital
    安装:In-line
    终端配件:In-line Flanged
    介质类型:Gas
    特征:Recorder / Totalizer Functions
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    显示:Digital
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
  • Siargo Ltd. MF50FD-1 质量流量计和控制器

    工作压力:232 psi (163 m H2O)
    电气输出:Frequency
    特征:Recorder / Totalizer Functions
    安装:In-line
    终端配件:In-line Flanged
    介质类型:Gas
    仪表形式:Mass Flow Meter
    精度:1.5 ±%
    接口选项:Serial / Digital
    管道直径:1.97 inch (50 mm)
    显示:Digital
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    测量技术:MEMS Flow Sensor
  • Siargo Ltd. MF50FD-2 质量流量计和控制器

    工作压力:232 psi (163 m H2O)
    精度:1.5 ±%
    电气输出:Frequency
    管道直径:1.97 inch (50 mm)
    终端配件:In-line Flanged
    介质类型:Gas
    特征:Recorder / Totalizer Functions
    安装:In-line
    仪表形式:Mass Flow Meter
    接口选项:Serial / Digital
    显示:Digital
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
  • Siargo Ltd. MF50FD-3 质量流量计和控制器

    安装:In-line
    介质类型:Gas
    工作压力:232 psi (163 m H2O)
    仪表形式:Mass Flow Meter
    精度:1.5 ±%
    电气输出:Frequency
    终端配件:In-line Flanged
    接口选项:Serial / Digital
    特征:Recorder / Totalizer Functions
    管道直径:1.97 inch (50 mm)
    测量技术:MEMS Flow Sensor
    产品类别:Mass Flow Meters and Controllers
    显示:Digital
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