激光位移传感器可以测量位移、厚度、振动、距离、直径等精密的几何测量。激光有直线度好的优良特性，同样激光位移传感器相对于我们已知的超声波传感器有更高的精度。 对激光位移传感器而言，激光三角测量法适用于高精度、短距离的测量，激光回波分析法则用于远距离测量。在当前的工业机器人应用中，通常采用三角测量法，这种方法最高线性度可达1um，分辨率可达到0.1um的水平。 激光三角法是一种由角度计算得到单点或多维的距离测量。通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面，经物体反射的激光通过接收器镜头，被内部的CMOS相机接收，根据不同的距离，CMOS 相机可以在不同的角度下“看见”这个光点。根据这个角度及已知的激光和相机之间的距离，数字信号处理器就能计算出传感器和被测物体之间的距离。