全新的射频电源和可选挡位匹配器为下一代等离子体工艺提供精准的重复控制和动态响应
美国Advanced Energy公司——高度工程化的精密电源转换、测量和控制解决方案的全球领导者——今天宣布推出一款综合的射频电源传输解决方案，该方案结合了先进的数字控制电源和精确的数字阻抗匹配网络。针对薄膜工业应用设计的ALTA?平台具有超强适应能力及控制精确性和重复性,增强了工艺稳定性并提供最佳产能。
ALTA平台包含了13.56MHz的机架式电源，功率范围1.5KW至6KW，以及一个13.56MHz的抽头数字式匹配网络。该系列产品面向不同行业等离子体工艺对精度，可靠性和重复性上的要求进行了优化。这些行业包括太阳能电池面板，平板显示起，精密光学器件和汽车玻璃制造。
“随着薄膜制造技术的发展和等离子快速转换成为常态，对结合精确的射频控制和对等离子快速转换的动态响应的电源解决方案的需求越来越大，”美国Advanced Energy公司等离子电源产品高级市场营销总监Dhaval Dhayatkar表示。“ALTA电源提供了几个先进的功能，包括频率调整、功率和阻抗实时测量、严密的功率调节、电弧管理和相位同步。”
ALTA电源还能进行全数字控制和对快速等离子体变化的动态响应，确保稳健、可靠的功率传输。ALTA匹配网络提供了调谐的多样性，其多接头线圈系统可轻松进行调谐，以适应不同阻抗范围。重复响应能力可最大程度减少每个匹配器之间以及重复工艺之间产生造成的功率偏差。
ALTA平台通过利用先进的数字架构，能够实现极其精确的过程测量和控制，以及与最先进的通信接口（如EtherCAT和Profinet）的系统无缝集成。