MEMS传感器是采用微机械加工技术制造的新型传感器，是MEMS系统的重要分支。MEMS传感器以其优异的性能，如体积小、重量轻、成本低、功耗低、灵敏度高、可批量化生产、易于集成和实现智能化等特点，逐步取代传统机械传感器而占据主导地位。目前，MEMS传感器主要应用在消费电子、汽车电子、航空航天、工业控制、医疗健康等领域，未来物联网产业将是MEMS传感器应用的重要领域。
MEMS传感器芯片，资料图
而专利是人类科学技术成果的重要体现，反映了最新科技发明、创造和设计。通过对专利数据的分析，可以明确产业领域的技术发展现状、该领域内国内外知名企业研发重点和核心技术情况。通过专利分析，可以明确我国在某个领域内存在的技术问题，有助于政府及企业更好的布局。
据悉，受益于汽车电子及消费电子的发展，在世界范围内，MEMS传感器专利数量自1997年开始快速增长，2000年后申请数量开始保持在相对平稳的状态，而近几年尤其在2016年后，MEMS传感器专利数量开始明显下降，这是由于MEMS在汽车电子及消费电子领域的应用已趋于饱和，而新增产业如物联网的应用还没有形成规模。未来随着物联网产业的发展，MEMS传感器将迎来新一轮的发展高峰。
全球主要国家（地区）MEMS专利数量占比情况，资料图
如上图所示，有研究机构对MEMS专利主要国家及地区的分析后总结称，目前，MEMS传感器申请量主要集中在美国、日本、中国及世界知识产权组织等。
不过，虽然我国的专利数量占据全球第三的位置，但是专利质量较差，核心专利较少。因此，我国企业及研发机构仍需加大MEMS传感器技术领域的研发力度及国际专利的申请。
在MEMS专利数量上领先的前20家公司，资料图
通过对MEMS传感器专利权人的分析可以看出，规模以上的企业有韩国三星电子、日本爱普生、美国应用化学、德国博世等公司，这些公司掌握了MEMS传感器的核心技术，并占据全球MEMS传感器市场主要份额。
而我国仅有台湾的台积电上榜，主要是因为我国MEMS传感器专利集中在高校、研究所等单位，产业化程度不高。同时，企业自主研发能力薄弱，政府对MEMS传感器产业的支持力度有限，这些因素制约了MEMS传感器的发展。
随着近几年下游应用端的发展，MEMS传感器受到政府及企业的重视。政府以基金或项目的方式在资金或政策上基于MEMS传感器的支持，企业也通过收购、并购、交流合作等方式布局MEMS传感器，如国家集成电路产业投资基金出资20亿人民币助力耐威科技布局8英寸MEMS代工线。未来，如果企业能够与高校或研究所加强产学研合作，在政府大力支持下，有望进一步加紧在MEMS传感器领域的布局。
未来，MEMS传感器将是物联网、智能制造、智能机器人、智慧医疗及无人驾驶等领域实现的重要条件，随着下游应用的发展，MEMS传感器将迎来发展高峰。