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SK海力士将在芯片清洁工艺中使用更环保的气体

2024-07-25
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据韩国媒体报道,SK 海力士宣布将在芯片生产和清洗过程中使用更环保的气体 —— 氟气(F2)。

据SK 2024年海力士发布的海力士 根据可持续发展报告,该公司最初在芯片生产过程中使用三氟化氮(NF3)进行清洁,以去除沉积过程中室内形成的残留物,以及其全球变暖潜力值(GWP)氟气(F2)为零,为17200。

除此之外,SK 海力士还进一步增加了氢氟酸(HF)该气体可用于低温蚀刻设备,其GWP为1甚至更低,远低于过去 NAND 氟碳气体被通道孔蚀刻。

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