小程序
传感搜
传感圈

消息称台积电今明两年将接收超60台EUV光刻机

2024-07-01
关注

7 月 1 据台媒《工商时报》报道,台积电将在 2024~2025 年接收超 60 台 EUV 光刻机,现在是明年两年 EUV 光刻机上的投资将超过 4000 亿新台币(目前约 896.61 亿元人民币)。

报道表示,ASML 的 EUV 目前,光刻机供应紧张,从订单到交付的整体周期已经达到 16~20 个月。

台积电今明两年将分别签订合同 30 和 35 台的 EUV 这些订单中的大多数将从光刻机订单开始 2026 年开始交付。

台湾媒体援引供应链的消息指出,ASML 对 2025 年产能规划是 20 台 High-NA EUV 光刻机、90 台 EUV 光刻机和 600 台 DUV 光刻机。

▲ ASML 目前最先进的 0.33NA EUV 光刻机 NXE:3800E

根据台积电的官方路线图,已经规划了最先进的工艺 16A 将于 2026 年量产,仍采用传统 0.33NA EUV 光刻机。换句话说,台积电在量产过程中没有考虑引入 High-NA。

虽然 ASML 已确认将在这方面 2024 年内交付台积电 High-NA EUV 光刻机,但这台机器只用于工艺开发。

台湾媒体还表示,台积电暂时不存在 2025~2026 年引入量产用 High-NA EUV 规划光刻机。


您觉得本篇内容如何
评分

评论

您需要登录才可以回复|注册

提交评论

科技门

这家伙很懒,什么描述也没留下

关注

点击进入下一篇

英飞凌在马来西亚居林的200mm SiC晶圆厂一期竣工

提取码
复制提取码
点击跳转至百度网盘