据丽水经济开发区官方微信报道，丽水瑞盛半导体科技有限公司集成电路制造设备关键部件产业化项目近日取得新进展。据项目负责人介绍，项目基础工程已全部完成，整体施工进度已达75%。大部分设备已进入现场调试并开始打样，预计7月份正式投产。
据报道，瑞盛半导体集成电路制造设备关键部件产业化项目总投资10亿元，2022年主要建设集成电路大型溅射设备部件生产线、生产传输平台、反应腔、传输腔、焊接反应腔等产品。建成生产后，年产能力6000套，年产值15亿元，税收1.1亿元。
项目实施主体瑞盛半导体是宁波江丰电子材料有限公司的二级子公司。后者是一家专业从事超大型集成电路高纯金属材料和溅射靶材料研发和生产的国家高新技术企业。超高纯金属溅射靶材料的研发和生产填补了国内空白。