三星电子的晶圆厂设备公司Semes成功开发了一种ArF-I浸润式光刻涂层/显影设备。该公司6月24日表示,第一台名为“Omega Prime该设备已于去年供应,Semes正在制造第二台设备。
到目前为止,韩国芯片制造商严重依赖国外进口设备,三星每年花费数千亿韩元。
据了解,涂胶设备用于曝光前,对晶圆进行光刻胶涂布。光刻完成后,光刻图案的显影应由显影设备进行。
目前,Semes已经制造了KRF光刻涂胶/显影设备,并在此基础上开发了ARF版本,以支持波长较短的新型光刻机。
据业内报道,目前东京电子(Tokyo Electron)全球市场份额超过90%的ArF-i光刻涂胶/显影设备。
Semes表示,Omegaga 喷嘴、烘烤温度和机器人位置自动调节系统应用于Prime设备,以消除涂层的偏差。