MEMS陀螺被用来测量物体角速度，根据轴数分类，MEMS陀螺可被分为单轴，双轴和三轴。不同的轴数表示MEMS陀螺可在不同的轴向上对物体进行测量，例如x,y,z轴。而这三种不同轴数的MEMS陀螺的最大区别就是轴数，它们的精度水平一直，量程都在400 deg/s。
这三个MEMS陀螺不仅在轴数上发生了变化，随着轴数的增加，MEMS陀螺的功能得到了进一步提升。当其从单轴变为双轴，MEMS陀螺增加了姿态控制的功能，而三轴MEMS陀螺由于可以测得x,y,z三个轴向的角速度，其在某种意义上相当于一个三轴的测量单元，而惯性系统/寻北仪等便可以在此基础上进行开发，加入不同的算法将其变为不同的系统。
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