据外媒报道，日前，SK Materials Airplus宣布，未来十年将投资7000亿韩元(约合人民币37亿元)建设生产气态氮(GN2)和清洁干净空气(CDA)的工厂。
据了解，这两种气体用于芯片生产。在沉积过程中，GN2作为载气在晶圆上传输前驱体。它还用于防止退火过程中的氧化。CDA用于半导体氧化层工艺和废气去除。这些气体的使用与芯片制造商生产的芯片数量直接相关。
SK Materials SK海力士的子公司Airplus是SK海力士的子公司 Hynixs、SK Siltron和SK Specialty提供GN2、CDA、氩气等工业气体预计将在京畿道龙仁半导体公园附近建设工厂。