5 月 30 随着日消息 DRAM 不断推进小型化,SK 海力士、三星电子等公司致力于新材料的开发和应用。
据 TheElec,SK Hynix 计划在第 6 代(1c 工艺,约 10nm)DRAM 在生产中使用 Inpria 下一代金属氧化物光刻胶(MOR),这是 MOR 首次应用于 DRAM 量产工艺。
消息人士称,消息人士称,SK Hynix 量产的 1c DRAM 有五种极紫外线 (EUV) 层,其中一层将被使用 MOR 画画。他还补充说:“不仅仅是 SK 海力士,三星电子也将追求这种无机 PR 材料。”
查询公开资料了解,Inpria 是日本化工公司 JSR 子公司也是无机光刻胶领域的领导者; MOR 目前被认为是先进芯片光刻的化学放大光刻胶(CAR)下一代产品。
另外,公司自己 2022 多年来一直与之相处 SK Hynix 合作进行 MOR 研究。SK Hynix 此前曾说过,使用 Sn(基)氧化物光刻胶将有助于改善下一代 DRAM 性能和成本降低。
TheElec 报告还指出,三星电子也在考虑这一点 MOR 应用于 1c DRAM,目前三星电子在 1c DRAM 上应用了 6 至 7 个 EUV 层,而美光只适用于 1 层。