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半导体缺陷检测对工业CT需求上涨,国产三维CT正摆脱进口依赖——访丹东奥龙项目应用总监陈立明

2024-05-22
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摘要 SEMICON China 2024展会于2024年3月20日至22日在上海新国际博览中心隆重举行。展会上,仪器信息网特别采访了丹东奥龙X射线仪器集团有限公司项目应用总监陈立明老师。

2024年3月20日至22日,备受关注SEMICON China 2024在上海新国际博览中心隆重举行。作为世界上规模最大、规格最高、影响力最大的展览,有1100家企业参展,涵盖芯片设计、制造、密封测试、设备、材料、光伏、显示等产业链,是半导体产业的新年盛会。

展览期间,仪器信息网有幸采访了它丹东奥龙X射线仪器集团有限公司项目应用总监陈立明先生。在采访中,陈先生就奥龙集团半导体测量或缺陷检测的发展现状、奥龙近年来的成就以及2024年的发展规划、半导体测量和晶圆缺陷检测设备在未来国际竞争中的发展趋势进行了深入交流。

以下是现场采访视频:

 

仪器信息网:这次是贵公司第一次参加Semiconn China,参加会议的感受如何?

陈立明老师:我们奥龙集团每次都会参加。展览很好。在展览中,我们结交了许多新朋友和新客户。通过展览,我们有更多的机会与新老客户沟通。

仪器信息网:贵公司在本次会议上带来了哪些解决方案或产品,如半导体测量或缺陷检测?主要原理或技术和创新是什么?

陈立明老师:这一次,我们的奥龙集团带来了最先进的快速扫描桌面微焦点CT、新的x射线晶体定向仪和荧光光谱仪。这种专门为半导体系统开发的桌面微焦点CT精度高,可以达到一个表面的检测精度,满足晶圆等半导体的检测精度。该产品具有使用速度快、采集速度快的特点,可实现便携式移动使用。晶体定向仪可根据客户需求进行差异化定制,可解决客户晶圆角偏差的问题。

仪器信息网:相关产品的具体应用是什么?用户解决了哪些痛点?

陈立明老师:用户焊接多层电路板后,如果使用二维检测会影响检测效果,三维检测可以解决多层电路板检测的问题。

仪器信息网:与其他量检技术相比,有哪些优势和特点?贵公司如何在与竞争对手的竞争中保持差异化优势?

陈立明老师:奥龙集团是第一家投资3D测试的私营企业。公司承担了科技部多模式成像系统的项目研发,完成了国内软件的控制。特别是,这种独立开发的平面CT为晶圆电路板的检测提供了强有力的技术支持。我公司对高端X射线技术的年度研发投资不断增加,工业CT产品每年推出新产品。 

仪器信息网:您认为目前半导体行业对测量和缺陷检测设备的最大需求是什么?

陈立明老师:奥龙集团作为X射线检测技术,承载了中国X射线60年的研发历史,基于三维CT产品定位开发,大多数企业使用进口设备,我公司开发的开放射线管解决了用户依赖进口机器的瓶颈。

仪器信息网:贵公司在过去一年中在中国市场取得了怎样的成就?2024年的战略或市场规划是什么?

陈立明老师:在过去的一年里,奥龙集团的表现非常令人满意。与同一行业相比,其表现具有较高的数据增长。高端设备的开发和自动化检测的发布也得到了加强,使机械和机器能够取代手动无损检测,人工智能的投资也比前几年有了很大的改善。

仪器信息网:近年来,中美科技战越来越激烈,特别是对美国、日本和荷兰出口半导体设备的控制越来越严格。面对全球市场的变化,您的长期战略规划是什么?

陈立明老师:首先,面对这种国际形势,我们的奥龙集团在软件方面实现了自主研发的本地化、在XRF设备中,控制软件全国自主化,硬件部分采用国产自主品牌。

仪器信息网:根据您的观察和分析,您认为未来半导体测量和晶圆缺陷检测设备市场将呈现什么趋势?

陈立明老师:结合奥龙集团近年来销售产品的情况,我们对产品趋势的综合分析呈上升趋势。我公司近年来销售 X射线定向器和衍射器的销售呈上升趋势。设备的销售表明,行业需求将越来越大,未来市场将越来越大,机会将越来越多。对晶圆缺陷无损检测的需求也越来越大,对平面CT的检测需求也在增加,未来中国市场将会更好。



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