MEMS传感器主要采用半导体制造工艺和材料，加工微机械结构形成的传感器和执行器，然后匹配控制电路和信号处理电路，测量和测试各种物理量，包括压力、加速度、温度和湿度、角度、角度等。
与传统传感器相比，MEMS传感器具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高等优点。这使得MEMS传感器在智能手机中AR/VR、可穿戴设备、智能驾驶、智能家居、智能家居医疗广泛应用于多个领域。智能汽车使用多达10到40个MEMS传感器。一般来说，低端汽车通常使用10个MEMS传感器。每辆高端汽车的MEMS传感器数量将显著增加到40个。随着汽车智能化和电气化的发展，汽车MEMS传感器市场规模迅速增长。Yole的最新数据预计，2022-2028年，全球汽车市场对MEMS传感器的需求预计将从27亿美元增长到41亿美元，年复合增长率为7.21%。
汽车MEMS的市场规模仅次于消费电子，是MEMS快速增长的第三大应用领域。MEMS传感器广泛应用于汽车领域，包括电动手刹、斜坡启动辅助、胎压监测、发动机防抖、安全气囊、车辆倾角计量、电池管理系统、车内心跳监测、健康驾驶舱(空气质量)等。99%的MEMS产品用于汽车电子，包括压力传感器、加速度计、流量传感器、陀螺仪和温湿度传感器。例如，正面防撞气囊采用高g值加速度计，侧面气囊采用压力传感器。
在汽车发动机中，MEMS传感器用于检测进气歧管的绝对压力传感器和流量传感器。此外，角速传感器(陀螺仪)在汽车导航和姿态控制中也起着关键作用。易波达首席技术官张裕华表示，MEMS传感器的汽车应用至关重要，为汽车带来安全、健康和智能。惯性导航系统是智能驾驶中最受关注的。它实际上是通过惯性传感器和全球定位系统来确定位置，然后匹配高精度地图来确定汽车的具体位置。此外，如果汽车在运行，还需要使用毫米波激光雷达、摄像头和超声波雷达来感知汽车的环境。惯性导航系统（IMU）除GNSS卫星信号外，主要由6轴MEMS加速度计和陀螺仪组成。
IMU可以通过自己的计算来定位自己的位置，而不依赖外部环境。那么未来的技术趋势是什么呢？张裕华认为，高精度MEMS传感器的发展趋势之一就是从MEMS级别到NEMS级别。NEMS作为MEMS的延伸，具有更小的尺寸和更高的精度，对实现更高的性能、更低的功耗和更小的传感器具有重要意义。目前，深硅刻蚀工艺主要受MEMS级别的限制。深硅刻蚀工艺是MEMS制造的关键技术。目前，该技术可以雕刻到20个电容陀螺仪:1深宽比，这其实是MEMS水平。
“现在已经发展到NEMS水平，间距可以达到200纳米，即0.2微米，所以深宽比可以达到100:张裕华说：“超过1”。另一种技术趋势是MEMS传感器的包装进步，2.5D包装开始向3.5D先进包装发展。3.5D包装结合了3D包装和2.5D包装的特点，并引入了混合键合技术。简单来说，3.5D包装就是3D 2.5D封装方式，加上混合键合技术的加持。MEMS传感器尺寸较小，功耗也会降低。3.5D封装将促进MEMS传感器在各个领域的应用和发展。