据媒体报道，当地时间周二，台积电高级副总裁张晓强（Kevin Zhang）ASML最新高值孔径极紫外光刻机在阿姆斯特丹举行的一次技术研讨会上表示（High-NA EUV）价格太高，直言不讳地说：“我喜欢这种技术，但我不喜欢它的价格。”
据了解，这款新光刻机的线宽只有8nm，精细度是前一代的1.7倍。但每台机器的成本高达3.5亿欧元(约3.78亿美元)，相当于两架空客A320，而ASML常规EUV设备的成本为2亿欧元。
报告称，新的光刻机预计将帮助芯片设计缩小三分之二，但芯片制造商必须权衡技术优势和更高的成本，以及ASML过去的技术是否更可靠或足够好。
台积电下一代芯片制造技术A16计划于2026年下半年推出。张晓强透露，A16不一定需要使用ASML的高值孔径 EUV，由于现有的EUV技术已经足以满足这一需求，因此可以继续依赖台积电现有的极紫外线设备。
目前，台积电是ASML常规EUV光刻机的最大客户。张晓强表示，台积电的A16工厂可能会设计成适应这一新技术。未来ASML的新技术是否应用取决于其经济效益和技术平衡。
据韩国媒体最近报道，英特尔订购了最新的高数值孔径EUV机，并于12月底将第一台机器运送到俄勒冈州的一家工厂。截至明年上半年，英特尔已获得ASML生产的大部分高数值孔径EUV）设备。