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高性能、低成本、智能化破解国产半导体量检测设备崛起之道——访东方晶源创新技术研究院院长孙伟强

2024-04-23
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摘要 SEMICON China 2024展会上,仪器信息网有幸采访到了东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司创新技术研究院院长孙伟强。

2024年3月20日至22日,备受瞩目的SEMICON China 2024年在上海新国际博览中心隆重举行。本次展览作为世界上规模最大、规格最高的半导体行业盛会,吸引了众多顶尖企业的参与。东方晶源作为国内集成电路领域的领先管理企业,带着产品矩阵出现在会议上,充分展示了公司在电子束检测、芯片制造EDA工具等领域的新产品、新成果、新突破,突出了技术实力和创新活力,以持续创新引领行业发展。

展会上,东方晶源带来了新一代电子束测量检测设备,包括缺陷复检设备DR-SEM、CD测量设备-SEM、缺陷检测设备EBI和集良率数据、缺陷数据、量测数据收集分析于一体的良率管理系统YieldBook。此外,还带来了计算光刻软件产品-Pangen良率综合优化系统。该产品具有OPC优化功能,适用于成熟的工艺节点,也是首款CPU GPU混算框架的全芯片反向光刻(ILT)功能掩模优化工具。

展览期间,仪器信息网有幸采访了它东方晶源微电子科技(北京)有限公司创新技术研究院院长孙伟强,深入探讨和分享东方晶源的主要产品、技术优势和未来半导体产业的发展趋势。

以下是现场采访视频:


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