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Melexis首创Triphibian™技术可实现MEMS压力敏感元件革新

2024-03-10
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2024年1月19日,比利时泰森德洛——全球微电子工程公司Melexis今天宣布推出第一款全新专利Triphibian™压力传感器芯片MLX90830。该MEMS压力敏感元件采用前所未有的小型设计,可稳定测量2-70bar范围内的气体和液体介质的压力。该设备通过Melexis出厂校准,可以测量绝对压力,并提供成比例的模拟输出信号。MLX90830简化模块和最新的电动汽车(EV)热管理系统的集成使模块更具成本效益。



Mlelexis突破性Triphibianibiann™以技术为核心,不仅可以实现MEMS(微电子机械系统)传感器远高于5bar的精确测量,还可以实现液体接触测量。MLX90830具有独特的结构,实现创新突破,既能进行高压感知,又能与气体和液体兼容。传感器芯片采用SO16宽体包装,内部配有悬挂悬臂,尖端配有感应膜。



传感器芯片的悬挂悬臂设计提供了高达2000bar/msec的压力峰值抗扰度和高达210bar的静态爆破压力水平。默认情况下,该装置提供两个压力量程校准范围(10barr)、35bar),每个压强量程的校准范围都是为电动汽车热管理系统的需求量身定制的,包括制冷剂的低压和高压制冷回路。MLX90830的设计比背面暴露的解决方案更稳定,因为前者在玻璃底座侧和引线键合侧之间仍然存在压差。此外,压力平衡原理也适用于冷冻介质,因此MLX90830可以在这种情况下运行,这是MEMS压力敏感元件的首次。


与现有的非MEMS设计相比,MLX90830具有更高的精度和更稳定的设计,有助于优化车辆热管理系统的效率,实现更长的行驶距离。此外,与独立的传感器芯片模块相比,其紧凑的嵌入式包装减少了传感器芯片的体积。


MLX90830包括传感器、信号处理电路、数字硬件、稳压器和模拟输出驱动芯片。植入感应膜中的压阻元件可以形成惠斯通电桥,从而产生输出信号。该信号放大后可转换为16位数字信号(DSP)最后,通过数模转换器提供模拟电压输出进行温度补偿。


该传感器芯片具有先进的保护机制,可以防止过电压(高于 40V)和反向电压(低于-40V)非常适合大型车辆。MLX90830是根据ISO26262标准开发的独立安全单元(SEooC),支持ASIL B系统集成,以确保最新的电动汽车安全需求得到满足。


“基于Triphibianiani™微型MEMS压力敏感元件,经过Melexis精确出厂校准,可以集中电动汽车热管理系统,不仅可以缩小系统尺寸,还可以提高可靠性。”压力传感器芯片产品经理Karel “客户可以在独立的压力传感器中设计MLX90830,也可以很容易地嵌入系统,”Claesen说


在Triphibian的帮助下™技术上,MEMS传感器芯片可以提高可测压力等级,扩展适用的介质类型。”高级产品线经理Laurent Otte解释说:“Melexis解决了以前无法通过MEMS技术解决的问题。现在我们可以通过测量液体介质的压力,为汽车工业和其他领域的应用开辟新的可能性。”



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